探针台选型的参数要求

 

    手动探针台选型 方法

通常需要确定以下问题来确定探针台的选型：
1、 大需要测几英寸的晶圆或者器件？ 
2、 探针台机械精度要求多高？ 
3、 点测样品的尺寸规格为？100um*100um或60um*60um的pad，还是FIB制作的mini pad，还是ic内部的l？ 
4、 多需要几根探针同时去点测？ 
5、 是否会用到探针卡？ 
6、 光学显微镜的小分辨率需要用到？ 
7、 显微镜方面，是否需要添加偏光片做LC液晶热点侦测？ 
8、 探针点测时，对电流的要求是否达到100fa或者以下？低电容的要求是否要做到0.1pf？是否有射频的需求？
9、 接驳的测试仪器接口有哪些？ 
10、测试环境时是否会需要加热或者降温？ 
11、对chuck的漏电要求怎样？是否需要添加低阻抗chuck？ 
12、是否需要防震桌？ 
13、若添置防震桌，是否有压缩空气？

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