1794-OE12
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电容式传感器是一种能将被测非电量转换成电容量变化的传感器件。根据引起电容量变化的参数不同，电容式传感器可分为极距变化型、面积变化型、介质变化型三类。
1）电容式传感器的外形结构
尽管电容式传感器根据其引起电容量变化参数的不同只分为三类，但是由于应用场合和用途不同，其外形结构多种多样，如图1所示是部分电容式传感器的外形结构。
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Edwards iQDP40 Dry Vacuum Pump QMB250 Blower as-is
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Nikon SPA432B Linear Motor Controller 4S586-950-4
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AE RF Match Network 3155031-021A AMAT 0190-01402
AMAT Local RF Match 0010-08323 Rev.007
AMAT Top Local RF Match 0010-08322 Rev.002
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AMAT Quantum Leap III Ion Source IHC 0040-50527
Thermo Neslab DI Max Water To Water Chiller 0190-06335
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Kawasaki CCD Prealigner 3NS003S-C201 0190-17388
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