CM-4实验室晶圆测试探针台

特点：

磁性吸附式，可调范围：x: ±6.5mm, y: ±6.5mm，z: ±6.5mm
设备重量：约30 KG
外形尺寸：500mm×500mm×550mm（长×宽×高）

使用环境：
电源：AC 220V±22V 50Hz±1Hz
功率：0.05kW
真空：-80 KPa
环境温度：15oC-30oC

相对湿度＜60%

技术指标：

可测圆片尺寸：2″、3″、4″、6″（可根据客户情况制定）
工作台行程：155mm×155mm
结构：精密直线导轨，滚珠丝杠
分辨率：0.001mm-0.01mm（根据需求丝杆导程可选）
操作方式：手轮
承片台Z向：接触/分离：行程 0.5mm
承片台θ向
微调范围：±15°
吸片盘：吸片方式：真空吸附
显微镜：双目体视显微镜45X（可根据客户要求更改倍率）

照明灯：LED环形灯

相关配件
打点器
可调三维座，驱动DC24V
测试探针
高弹性钨针

三维针座