SDY-4型四探针测试仪

SDY-4型四探针测试仪

产品介绍： SDY-4型四探针测试仪是根据单晶硅物理测试方法标准并参考兴万A.S.T.M标准设计的半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)测试仪器.本仪器可满足半导体材料、器件的研究生产单位对材料(棒材

 

 

 

产品介绍：

SDY-4型四探针测试仪是根据单晶硅物理测试方法标准并参考兴万A.S.T.M标准设计的半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)测试仪器.
本仪器可满足半导体材料、器件的研究生产单位对材料(棒材、片材)电阻率及扩散层、离子注入层、异型外延层和导电薄膜方块电阻测量的需要

 

 

产品特点：

器体积小、功耗低、测量精度高、测试速度快、稳定性好、易操作。

技术参数：

电阻率

0.001～200Ω.cm(可扩展)

 

 

 

 

 

 

 

 

方块电阻

0.01～2000Ω/□(可扩展)

 

 

 

 

 

 

 

 

恒流源

电流量程分为0.1、1、10、100(mA)四档,各档电流连续可调.误差<±0.3%

 

 

 

 

 

 

 

 

数字电压表量程

0-199.99mV

 

 

 

 

 

 

 

 

分辨率

10μV

 

 

 

 

 

 

 

 

 

显示

四位半红色发光管数字显示;极性、小数点、量程自动显示。

 

 

 

 

 

 

 

 

输入阻抗

>1000MΩ

 

 

 

 

 

 

 

 

精度

±0.1%

 dgpe ,

 

 

 

 

 

 

 

 

四探针探头间距wwst ,jnytbba tg 

 

 

 

 

 

 

 

 

四探针探头间距

 

 

 

 

 

 

 

四探针探头间距

1±0.01mm

 

 

 

 

 

 

 

 

针间绝缘电阻

≥1000MΩ

 

 

 

 

 

 

 

 

机械游移率

≤0.3%

 

 

 

 

 

 

 

 

外形尺寸

电气主机:360mm×320mm×100mm；数据处理器：300mm×210mm×105mm

 

 

 

 

 

 

 

 

测试环境

温度23±2℃；相对湿度≤65％；无高频干扰；无强光照射。

 

 

[上一个产品]: GP-1102潘通专色色票-铜版纸/胶版纸色卡Pantone Solid chips coated/uncoated
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