JZ-3000型探针台（全自动控制）
JZ-3000型探针台（全自动控制）采用整体箱式结构，封闭式设计，其主体主要分为四大部分：电气控制系统，机械运动系统，操作系统，显示系统。
该设备是高速、高精度、高压型探针机型，主要适用于半导体分立元件，光电元件的高压测试，可遮光测试，具有MAP显示功能。它与测试仪连接后，能自动完成对各种晶体管芯的电参数测试及功能测试。
JZ-3000型探针台（全自动控制）是专为半导体生产厂设计的用于半导体芯片封装前晶圆测试的生产设备。与相应的测试仪进行讯号通讯就可以组成一套完整的测试系统。
JZ-3000型探针台（全自动控制）装置的特点是：
1） Windows友好界面，动态显示测试过程；
2） 具有探高测试功能
3） 手动/自动测试任选
4） 自动测试方式灵活多样
5） 设置参数具有掉电保护功能
6） 系统帮助与各种提示信息
7） 采用X、Y、Z三轴运动结构，保证其控制精度和工作稳定性。
8）操作方法简单易懂。
9）实现了成产过程除上下料以外的全自动测试。
10）机身主结构全部采用铸件，结构紧凑，外形美观大方， 同时又具有良好的刚性，运行平稳。
技术参数:
□ 可测片径：3″、4″、5″、6″
□ 显微镜：单目显微镜，放大倍数0.7X～4.5X
□ 工作台行程：300mm×200mm
□ 工作台速度：200mm/s
□ 步进分辨率：0.005mm
□ 重复定位精度：≤5μ
□全程综合误差：≤25μ
□ 步距范围：0.001～9.999mm
□ Z向行程：0～8mm 可调
□ θ向调节范围：±30º
□ 测试速度：>14.4K/H
□ 漏测指标：≤0.4%
□ 外形尺寸：（长×宽×高）900mm×900mm×1650mm
□ 重量：260㎏
北京九州空间科技有限公司
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