MCV-500 GB/TSO230-2 数控轴线的定位精度和重复定位精度的确定
0.2ppm(0.2μm/m)
MCV-500+LB-500 GB/TSO230-4 数控机床的圆检验
MCV-500+LB-500除具有MCV-500位移测量功能外，还具有动
态测量功能和非接触圆形轨迹测量功能。它用长条形平面镜做靶标，机床在做圆形运动时，分别测量出插补二轴的位移变化和速度变化，产生动态速度曲线和加速度曲线来分析机床的动态特性。并合成出圆形运动轨迹，并用软件进行分析。可以测量出机床在高进给、小R情况下的动态特性。是调整伺服系统，选择佳参数和轨迹验证的有效工具。
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测量精度：0.2ppm(0.2μm/m) |
采样率：1-1,000点/秒 |
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大进给率：5m/秒 |
每周大采集点：24,000点/圆 |
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测量R：1-75mm |
测量距离：1000mm |
MCV-500+SD-500 ISO230-6 对角线位移检验
0.2ppm(0.2μm/m)
MCV500+SP-500 ISO230-7 回转轴线的几何精度检验
MCV-500+SP-500除了具有MCV-500位移测量功能外，还具有动态测量功能和激光非接触式主轴回转运动测量功能ISO230-7。
此组合系统可用来进行抛光表面如球体的非接触式 微量位移测量。将激光系统固定于床台上 100mm的聚焦镜可将激光光束聚集于球体表面，旋转主轴，激光系统与球体表面或主轴误差运动间的距离变化可被测得。与一般技术比较，激光测量方法的优点如下：
1.高准确度及分辨率。 2. 较大的间隔距离。 3. 容易安装及操作。
4.无须笨重的精密测试器及定期校验。 5. 节省成本及时间。
精度：0.2ppm(0.2μm/m)
分辨率：0.001μm测量距
离：100mm
2
MCV-5000系列激光多普勒干涉仪采用一个双通道处理器和二个单光束激光头及各种功能组件组成。
MCV-5002是MCV-5000系列中的基本型，它具有直线位移，大型龙门式机床主动轴从动轴直线位移同步测量，角偏(俯仰角、偏摆角)测量，直线度（水平直线度、上下直线度）测量，分轴步进对角线（空间精度）测量功能。(上图)
MCV-5003是在MCV-5002的基础上增加RT-100A(自动)转台测量功能组合而成，具有旋转轴精度测量功能。(右图)
MCV-5004是在MCV-5002的基础上增加二套动态测量功能
组合而成，具有动态测量和圆形轨迹（非圆形轨迹）测量功能。
MCV-5005是综合了MCV-5002、MCV-5003、MCV-5004的全部测量功能。
MCV-5004、MCV-5005还可选配SP-500进行主轴回转几何精度(径向跳动、端面跳动) 测量和综合刀尖位置精度测量。(下图)
3
LICS-300H激光多普勒干涉仪
美国光动LICS-300H是款高性能，紧凑的激光干涉仪校准系统。可以校准CNC机床，三坐标测量机等精密测量仪器和平台。测量项包含3个轴位移误差，6个直线度误差，3个垂直度误差和动态轮廓误差
可以运行在window系统的任何笔记本电脑上，界面友好并且根据不同的行业标准（比如NMTBA，VDI，ISO和ASME B5.54）收集和分析数据，该激光系统通过了NIST标准且可以NIST信息查询
直线位移测量
直线度和垂直度测量
球杆仪功能
激光精度：0.05 ppm
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分辨率: |
0.01 μm |
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测量距离 : |
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15m |
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系统精度: |
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0.5 ppm |
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移动速度： |
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5m/s |
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电源： |
100 to 240 VAC, 50 to 60 Hz |
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四象限仪分辨率: |
0.01mm |
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范围： |
0-10m |
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动态测量 |
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采样率： |
1000data/s(max) |
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测量速度： |
5000mm/s |
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测量方式： |
非接触测量速度、加速度 |
LICS-100 系列激光多普勒干涉仪
LICS-100便携式激光多普勒干涉仪是采用了光动公司的技术
和新的光电技术而设计开发的，他的结构简单、轻便，整个系统只
有书包大小，系统安装和对准只需要几分钟就可完成，特别适合现场
线性检测和校准。
LICS-100标配无传感器，可手动输入温度和压力参数。
LICS-100A标配空气温度、材料温度和压力传感器。
精度 ±1ppm
分辨率 0.01μm
测量速度：1m/秒
测量范围：15m
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测量功能 |
产品型号 |
精度 |
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分辨率 |
稳频精度 |
大进给率 |
测量距离 |
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秒 |
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可选 、 、 |
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2 |
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直线位移测量 |
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2 |
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2 |
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系列 |
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秒 |
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可选 、 |
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测量功能 |
产品型号 |
精度 |
采样率 |
每圆大采样数 |
大进给率 |
测量半径、距离 |
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2 |
1-1,000 |
|
秒 |
、 |
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圆形轨迹测量 |
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点 圆 |
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2 |
点/秒 |
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秒 |
、 |
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注：、可进行非圆形轨迹测量 |
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测量功能 |
产品型号 |
精度 |
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分辨率 |
稳频精度 |
大进给率 |
测量距离 |
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分步矢量 |
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2 |
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2 |
秒 |
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体对角线测量 |
系列 |
2 |
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测量功能 |
产品型号 |
精度 |
采样率 |
每圆大采样数 |
测量距离 |
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回转轴线 |
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2 |
点 |
点圆 |
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|
2 |
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几何精度测量 |
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秒 |
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5
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测量功能 |
产品型号 |
精度 |
分辨率 |
稳频精度 |
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大进给率 |
测量距离 |
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|
主动轴、从动轴 |
系列 |
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|
2 |
|
秒 |
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直线位移同步测量 |
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可选 、 |
||||||
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|
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||
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|
测量功能 |
产品型号 |
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精度 |
分辨率 |
测量范围 |
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第四轴 |
MCV-5003 |
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秒 |
秒 |
度 |
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（第五轴）测量 |
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MCV-5005 |
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注：MCV、 |
MCV可进行第五轴测量 |
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测量功能 |
产品型号 |
精度 |
采样率 |
每圆大采样数 |
测量距离 |
|
|
刀尖位置测量 |
|
.2 |
点 |
点 圆 |
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|
2 |
秒 |
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|
测量功能 |
产品型号 |
精度 |
分辨率 |
大角度 |
测量距离 |
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|
角偏测量 |
系列 |
秒 |
秒 |
度 |
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|
可选 、 |
||||||
|
|
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|
|
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|
测量功能 |
产品型号 |
精度 |
分辨率 |
大横向距离 |
测量距离 |
|
|
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|
|
直线度测量 |
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|
|
系列 |
|
|
||||
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
可选 、 |
|||
|
|
|
|
|
|
||
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|
测量功能 |
产品型号 |
精度 |
分辨率 |
测量距离 |
|
|
平面度测量 |
5 系列 |
|
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|
|
|
可选 、 |
|||||
|
|
|
|
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|
注：系列可选配 |
|
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|
测量功能 |
产品型号 |
精度 |
分辨率 |
测量距离 |
|
|
垂直度测量 |
|
秒 |
秒 |
|
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|||||
|
系列 |
|||||
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6
7
8
9
10
11
12
13
