SMC真空泵要求从密封容器中高速高效地排除气体，以达到产生,改善和维持真空的目的。其工作原理可以分为机械,物理和化学方式。根据要达到的真空度不同,常常需要2种以上的SMC真空泵相组合。
代表的SMC真空泵
１：旋转式机械泵
２：分子泵（ＴＭＰ）
３：离子泵
４：Ti升华泵
５：低温泵
曾经被广泛使用的油扩散泵因为存在油气蒸发的问题、现在已经很少被采用。
旋转式机械泵
以油封式SMC真空泵为例加以介绍。
构造：偏心轴转子,固定翼,油。旋转动力是电机。
原理：转子紧贴泵壁内侧旋转。固定翼随之下移,转子到达油面后,空气被压缩,压缩后的空气压力高于外界大气压之后从排气口排出。
特征：
排气能力由压缩比决定,可达0.1Pa程度。操作简单。可以从大气压状态下启动。油要蒸发。
