安装指导日本山武azbil质量流量控制器CMQ-V系列
检测部采用了本公司独立开发的称为「
根据使用用途，备有从5mL/min型号到500L/min型号的宽广流量区域的产品。
1、大流量质量流量计CML的可调比160：
实现了质量流量计CMS的可调比100：
是搭载有高级执行器控制技术的气体用质量流量控制器。
1（测量范围为1,280：1）的高可调比！
丰富的产品种类，扩大了可使用的应用范围。
瞬时／累积流量显示、燃气种类切换功能、
累积脉冲输出、通信功能等 （* 因产品而异）
与空气、燃气的使用温度、压力无关，
细微、热容量非常小的MEMS传感器
低圧损构造 高精度 能长期保持高精度。
利用μF传感器的特长，实现了宽广流量控制范围的快速响应。
适合于空气及燃气的使用量的管理、及节能的漏气管理。
相对于大测量流量的低流量区域，
流量控制器控制困难的低压供给燃气的流量控制。
适合应用于工厂工序的玻璃、
（* 标准状态下的流量是指在1个大气压、
0°C（或20°C）时的体积流量。）
搭载了以前的质量流量计没有的各种功能。
μF传感器设置在流路的壁面上，
上下限报警输出、模拟输出、 种类丰富的产品
质量流量检测 快速响应 宽广的检测范围
钎焊加工的火焰控制等以前的质量
可实现宽广范围的测量、控制。
一般的气体流量计都难于检测，通过搭载μF传感器，
μF传感器」的热式流量传感器，
具有低压力损失的特点。适合于低圧气体流量的检测、控制。
直接与气体接触进行检测，实现了快速响应。
各种功能 通过控制机器积累的微电脑的技术，
可测量换算成标准状态下的流量。
μF传感器随时间的特性变化非常小，
安装指导日本山武azbil质量流量控制器CMQ-V系列
