小型流量传感器FSM2-PAR102-A153BT
日本CKD流量传感器・控制器
气体用小型流量传感器Rapiflow(R)
双画面双色显示气体用小型流量传感器。
备有显示一体型、显示分离型2种产品类型。
大流量、小体积
流量范围:0.5~1000ℓ/min
500、1000L/min型实现了比原有体积减少30%的小型化。
无需直管部位
内置新的整流机构,上游侧和下游侧均无需直管部位,可自由设置。
双方向测量
显示一体型、双向型可任意设定流向进行测量。
高速响应
采用经过硅微加工的白金传感器芯片,实现50m/sec的响应速度。
洁净规格
标配有P70(防止发尘)、P80(禁油规格)产品。
适合半导体、液晶制造领域的用途。
FSM2-A 显示分离型 0.5~1000
FSM2-N 显示一体型(开关输出NPN 2点、模拟输出1点
FSM2-P 显示一体型(开关输出PNP 2点、模拟输出1点)
FSM2-NVF500-S083
FSM2-PVF101-H081
FSM2-NAF102-A153B
FSM2-NAF101-S083B
FSM2-NVF050-H061B
FSM2-NVF050-H061B
FSM2-NVF501-A153
FSM2-NVF101-S081
小型流量传感器FSM2-PAR102-A153BT