特长
分光干涉法的膜厚计。
搭载高精度FFT膜厚分析引擎(第4834847号)
我们可以通过光学纤维建立自由的测量系统。
可以装配到各种制造设备中
能够进行实时的膜厚度测量。
远程操作，对应于多点测量
定性为长寿的LED光源
测定项目
多层膜厚度
用途
光学薄膜(硬地、AR胶片、ITO等)
FPD相关(外部组织，SOI, SiO2等)
単一ポイントタイプ
半導体ウェハの面内分布測定
ガラス基板の面内分布測定
多ポイントタイプ
リアルタイム計測
流れ方向の品質管理
真空チャンパーにも対応
トラバースタイプ
ハードコートの膜厚解析
