四探针测试原理方法和计算
一、工作原理和计算公式
1.双电测四探针法测试薄层样品方阻计算和测试原理如下：
直线四探针测试布局如图8，相邻针距分别为S1、S2、S3,根据物理基础和电学原理：
当电流通过1、4探针，2、3探针测试电压时计算如下：
四探针测试结构图8
当电流通过1、2探针，4、3探针测试电压时计算如下：
从以上计算公式可以看出：方阻RS只取决于R1和R2，与探针间距无关．针距相等与否对RS的结果无任何影响，本公司所生产之探针头全部采用等距，偏差微小，对测试结果更加。
2.仪器工作原理图
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输入
电源 |
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被 测 物 |
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液晶
显示 |
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电脑 软件 打印 |
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芯片
模块 |
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恒 流 源 |
图9
二.功能概述
图2
2.显示界面图
2.1.开机页面
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宁 波 瑞 柯 仪 器 有 限 公 司 Ningbo Rooko instrument co., Ltd FT-340系列电阻率测试仪 FT-340 serial resistivity tester 按显示键继续
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图3
2.2.测试界面
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瑞柯仪器 方 阻 接口：USB 测试功能：Rpk 电流：自动 高电压：低 清零：关 温补：关 长度单位：mm 探针间距：mm 探针形状：直形 温度系数：0.000 厚度：mm 电压：0.0v 温度：0.00℃
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方 阻
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材料
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放大
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电阻：…………… 电阻率：………… 电导率：………….
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图2
图4
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瑞柯仪器 材 料 接口：USB 测试功能：Rpk 电流：自动 清零：关 温补：关 长度单位：mm 试样状态：长方形 截面积 长： 宽： 高： 温度系数：0.000
电压：0.0v 压强： 温度：0.00℃
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方 阻
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材料
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放大
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电阻：…………… 电阻率：………… 电导率：………….
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