TCS208F气体热导传感器

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德国HL P公司TCS208F气体热导传感器，采用的MEMS加工技术生产，利用被测组份和参考气体的热导系数不同而响应的浓度型传感器。产品具有检测范围大、可靠性高、安装方便、维护简单等优点。

                       

TCS208F气体热导传感器可广泛应用于天然气，CH4、H2，CO2，CO，SF6，Xe，He，NH3等气体成份检测，也可用于测量非常小的气体容积变化。

 

■ 特点                                          ■ 应用

 

测量精度高                                             天然气的成份和来源分析

灵敏度高                                                 垃圾填埋，沼气池中CO₂和CH₄含量

集成温度补偿，漂移小                           空气混合物中的He或Xe含量

体积小，响应速度快                               发电厂氢冷电机组循环气中H₂含量

可以测量微小的气体容量                     工业窑炉、锅炉的废气中CO₂含量

    高                                                 化肥厂合成NH₃与补充气比例

TO8封装，抗冲击能力强           

 

■ 性能参数（参考温度25℃）

 

参  数	小值	典型值	大值	单位
阻值Rm1，Rm2	92	100	115	Ω
阻值 Rt1，Rt2	220	240	275	Ω
比值Rtx / (Rm1+Rm2) | x ε {12}	1.13	1.2	1.27
阻值差 Rm1 - Rm2	-2.00		+2.00	Ω
温度系数(Rm Rt) |20°C–100°C	4800	5500	5900	ppm/K
膜热时间常数(τm)		＜5		ms
气体交换时间常数		＜100		ms
漂移| x ε {mt} ; y ε {12}		0.001	0.01	%week
扩散室空间		0.2		mm3
安装空间		100		mm3

 

■    额定参数

 

参数	小值	典型值	大值	单位
加热功率P(Rm1 + Rm2)			30	mW
膜片温度Tm			180	℃
环境温度ϑ	-20		+85	℃

 

■    佳工作参数

 

参数	小值	典型值	大值	单位
加热功率P (Rm1 + Rm2)			5	mW
膜片温度变化  ΔT = Tm -ϑ	30	50	70	℃
测量介质	与Si，SiOxNy，Gold，Epoxy兼容气体

 

江门安泰电子有限公司

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