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名称
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参数
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抽气速率
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40m3/h
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极限真空度
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133Pa
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压缩机排气量
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15m3/h
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储气罐容积
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300L
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回收终压
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1000~5000Pa
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净化
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微水<80PPm
微尘<1微米
油雾<2PPm
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