| 名称 | 内容 | ||
| 测量范围 | Ra 、 Rq | 0.005μm ~ 30μm | |
| Rz,R3z,Ry,Rt,Rp,Rm | 0.02μm ~ 320μm | ||
| SK | 0 ~ * | ||
| S、Sm | 1mm | ||
| tp | 0 ~ * | ||
| 测量量程 | Z轴(垂直) | ±80μm/±160 µm(增强型) | |
| X轴(水平) | 20mm | ||
| 分辨率 |
Z轴 (垂直) |
0.01μm/±20μm | |
| 0.02μm/±40μm | |||
| 0.04μm/±80μm | |||
| 0.08μm/±160μm | |||
| 测量项目 | 参数 | Ra,Rz,Rq,Rt,Rp,Rv,R3z,R3y,Rz(JIS),Rs,Rsk,Rsm,Rku,Rmr; Ry;Rmax,Rc,RPc,Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2 | |
| 标准 | ISO,ANSI,DIN,JIS | ||
| 图形 | 支承率曲线,粗糙度轮廓,直接轮廓 | ||
| 滤波器 | RC,PC-RC,Gauss,D-P | ||
| 取样长度(lr) | 0.25,0.8,2.5mm | ||
| 评定长度(ln) | Ln= lr×n n=1~5 | ||
| 传感器 | 测量原理 | 位移式差动电感 | |
| 触针 | 天然金刚石,90锥角,5μm针尖半径 | ||
| 测力 | <4mN | ||
| 导头 | 硬质合金,滑行方向半径40mm | ||
| 滑行速度 | lr=0.25, Vt=0.135mm/s | ||
| lr=0.8, Vt=0. 5mm/s | |||
| lr=2. 5, Vt=1mm/s | |||
| 返回 Vt=1mm/s | |||
| 示值误差 | 不大于±10% | ||
| 示值变动性 | 不大于6% | ||
| 电 源 | 内置3300mAh锂离子充电电池,DC5V充电器充电 | ||
| 外形尺寸 | 主机:64*53*160mm 驱动器:23*27*115mm | ||
| 重量(主机) | 约380g | ||
| 工作环境 |
温度:- 20℃~40℃ 湿度:<90% RH |
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| 储存运输环境 |
温度:- 40℃~60℃ 湿度:<90% RH |
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