日本昭和 晶 圆 线 宽 测 量仪 用SD-1280C2减震平台

日本昭和 ， 晶 圆 线 宽 测 量仪 用SD-1280C2减震平台；

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水平方向发挥高性能的

空气弹簧气囊机型 ND

高性能空气弹簧气囊在水平方向能做到
0.5Hz 的低固有振动。用自动水平调整器将
平台的平衡保持一定的水平。
固 有 振 动 数 ： 垂 直约 约 1 1. .0 0H Hz z 水 平约 约 0 0. .5 5 Hz

空气弹簧气囊方式的普及型
CD

空气弹簧气囊方式的除振卓、配备自动水平
调整器、能时时保持平台的水平。
固 有 振 动 数 ： 垂 直约 约 1 1. .2 2H Hz z 水 平约 约 1 1. .8 8H Hz z
注）CD-8060 没有附带脚部隔板
在照片中、上部板罩及平台的 SUS 是可选配。
（ＣＤ，ＳＤ）

在照片中、上部板罩及平台的 SUS 是可选配。
（ＣＤ，ＳＤ）
特殊防振橡胶的方式、不需要维
护而且发挥稳定性能的型号
S SD D

采用低固有振动数特殊防振橡胶的高性能
除振台。基于长期的经验和高端技术而开发
的昭和科学引以为自豪的卓型除振台。
固 有 振 动 数 ： 垂 直约 约 4 4H Hz z 、 水 平约 约 3 3H Hz z
后面、侧面板是可选配