
主要特点
l **的质量流量混比法
l 精度高、重复性好
l 800×480 TFT触控屏
l 全进口气路快插件,使用方便
l 具备自校准功能,自动修正流量体积
l 稀释气体可多选,目前支持:SF6、N2、O2、Air等
l 可配置多组分气体,目前可支持3种组分混比气
l 具备程控配气方式,可在特定时间段内输出特定成分气体
技术参数
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流量范围 |
配气通道0~150mL/min,平衡通道0~600mL/min |
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准 确 度 |
±1.0% F.S |
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重 复 性 |
±0.2% F.S |
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*大输出流量 |
1000ml/min |
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*小输出流量 |
2% F.S |
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*大稀释比 |
200:1 |
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工作电源 |
AC 220V/50Hz |
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工作环境 |
环境温度:-20℃~60℃ 相对湿度:0~90%RH |
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管道连接 |
上等特氟龙管快插连接 减压阀:原装进口 |
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尺 寸 |
约470mm×370mm×240mm |
