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随着精密测微研制和其在计量生产各部门的广泛应用，对这些测微的问题显得愈来愈尖锐。因此仪器计量部门对其也进行了研究，在九十年代初期推出了杠杆式斜块测微仪器，其具体的工作原理如图1—2所示。首先将精密测微的传感器，根据其测量范围和分辨力装入器的支架孔中，按照杠杆原理以一定的比例缩小被检测微的位移量，以便的准确度。被检传感器的安装位置，使精密测微仪的示值在测量范围的下限，待测微仪示值后即可记下测微仪的读数，作为被检测微仪的受检起始点。根据被检精密测微的测量范围和分辨力确定其受检点数和受检数值，以此为依据单向微动器上的微位移微分筒，并观察微分筒鼓轮上的读数到达第二个受检点位置，待测微仪示值后记录其示值；依此类推，对其它受检进行检测实现对测微仪的全量程。各受检点的测得值与受检点标称值的比例缩小值之间的差值，即为测微在测量范围内的示值误差，其误差不得过其的允许值。
另外，在杠杆式斜块测微仪器上还可以测微仪的分辨力。根据测微仪的分辨力指标将传感器安装到器的支架孔中，传感器位置使其示值在测量范围中间位置，单向微动器的微分筒，待受检测微仪的示值后，在器的微分筒鼓轮上读数。继续单向微动器微分筒，同时观察测微仪的示值变化。当刚使测微仪的示值发生变化时，再次在器微分筒鼓轮上读数。两次读数之差，即为精密测微的分辨力。
从杠杆式斜块测微仪器的工作原理可以看出，其的准确度，不但与器上微位移微分筒的度有关，而且杠杆位移缩小的比例、杠杆刚度、杠杆支点的刚度等因素将直接影响其的准确度。
3、纳米激光偏振干涉仪
在八十年代末九十年代初，由于高精度轴系和精密微位移测量的要求已越来越高，国内对分辨力达0.01um的各类微位移测量仪的应用己日趋普遍。
为了解决这类测微仪的需要，北京部计量研究所和上海机床厂磨床研究所，相继研制出纳米级激光偏振干涉仪和0.001微米位移比对仪，其分辨力达到0.1纳米、准确度达到3纳米。并在此基础上研制了相应的装置，其工作原理如图1—3所示。
由图可知，该装置由干涉仪主体部件、角度测量部件、微位移部件三个主要部分组成，具体工作原理如下：
1)干涉是干涉仪的主体组成部件，在中产生干涉条纹。其具体工作原理是：当可动镜6(如图1—3)位移入/2时，偏振光的偏振面1800的转角，此时干涉条纹的明暗变化一个周期，利用此关系可对干涉条纹进行细分。很高的分辨率。
2)角度测量部件(由图1—3中的9、10、11、12组成)的工作原理如图1-4所示，是细分干涉条纹的机构，其中1、3、4、5、7、8组成测角，2、6、9组成寻找偏振面。当可动镜位移时。干涉条纹发生明暗变化，可用检偏器2随光栅盘后的位置，从而测出偏振面角所转过的角度，由可逆记数器输出位移量。
3)微位移部件是装置不可缺少的组成部分，其工作原理如图1-5所示。它是可动镜产生位移的驱动机构，可动镜1(图1-3中的6)安装在片簧导轨2上，镜框后面安装了被检传感器5(图1-3中的7)和电致伸缩器4，当用连续可调直流电源给其施加电压时，即可使可动镜产生位移，同时在干涉仪和被检传感器上可把位移量显示出来，实现的目的。
用该仪器进行检测时，首先将仪器到正常工作状态，将被检传感器安装在被中(如图1-3中7的位置)，连续可调直流电源给电致伸缩器施加电压，可动镜产生位移，通过主机上检偏器的位置，寻找偏振面的角度，由可逆记数器(如图1—3中8)显示可动镜的位移量，与此同时被检传感器也检测出了可动镜的位移量，两者之间的差值即为的示值误差。
上述分析可以看出，采用这种对精密测微仪进行时，具有许多优点：①直接采用激光(6328埃)光波作基准与被测量进行比较，了传动链长、刚性差等传递误差，大大了的准确度；②基准测微仪利用偏振光干涉法，因而可以利用测角仪测量偏振面的角干涉条纹的小数，使其分辨力大大；⑧利用该装置还可以对同等准确度的其它传感器以及压电陶瓷微位移驱动器的非线性等进行，如果对工作台和导轨稍加改进，还可以扩大其应用范围，充分发挥其作用。
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