9J光切法显微镜参数
以光切法测量零件表面的微观不平度，对于表面划痕，刻线或某些缺陷的深度也可以进行测量。
本仪器以光切法测量另件加工表面的微观不平度。其能判别*标准GB 1031-68所规定▽3-▽9级表面光洁度。（表面粗糙度12.5▽～0.2▽）
对于表面划痕、刻线或某些缺陷的深度也可用来进行测量。
光切法特点是在不破坏表面的关况下进行的。是一种间接测量方法。即要经过计算后才能确定纹痕的不平度。
主要技术规格
测量范围不平度平均高度值（微米） 表面光洁度 所需物镜 放大倍数 物镜组件工作距离（毫米） 视场（毫米）
＞0.8～1.6 9 60倍N.A.0.55 510倍 0.04 0.3
＞1.6～6.3 8～7 30倍N.A.0.40 260倍 0.2 0.6
＞6.3～20 6～5 14倍N.A.0.20 120倍 2.5 1.3
＞20～80 4～3 7倍N.A.0.12 60倍 9.5 2.5
不平深度测量范围：0.8---80μm（▽3---▽9)
不平宽度：用测微目镜0.7μm---2.5mm
用坐标工作台：0.01---13mm
放大倍数：60×/120×/260×/510×
