软件优势 可编程扫描，自动分析: 定制扫描程序，一键开始扫描，自动完成分析，生成数据 TAMI断层显微成象扫描: 无需选择波形，可任意设定扫描深度及等分厚度，一次扫描可获得200张图片，*快速完成分析。 FSF表面跟踪线: 样品置于不平的情况下，自动跟踪平面，获取同一层面图片 ICEBERG离线分析: 存储数据后，可在个人电脑上进行再次分析硬件优势 紧凑、稳定的结构设计： 模块化设计使得结构简单、稳定、易于维护 高速，稳定的马达设计： 扫描轴采用*的线性私服马达，提供高速、稳定、无磨损的扫描 的传感器/透镜： 提供的缺陷检验，*小能探测到仅0.1微米厚度的分层。 PETT技术： 反射及透射同时扫描，有效提高元器件分析效率™ ECHO超声波扫描模式：A-Scan(点扫描)、B-Scan(截面扫描)、C-Scan(层扫描)、Multi-Scan(多层扫描)、T-Scan (穿透 式扫描)、Tray-Scan(盘扫描)、Jump-Scan(跳跃扫描)、HTS(高速扫描),TAMI-Scan(断层显微成象扫描)*分辨率：10000X10000像素*扫描区域：350mmX350mm*扫描速度、加速度：1000mm/s，10000mm/s2超声波探头频率 ：10-300MHz设备尺寸 ：W 31" x D 31" x H 48”