1、真空度测试仪控制测量板
该部分用于接收用户指令，控制显示器进行各种显示，产生高压单元所需的振荡信号，及对磁控电流控制单元发出各种控制指令，负责整个测量过程的时序控制，该单元是整个系统的主体。
2、高压单元
该部分将控制部分送来的具有一定占空比的信号进行功率放大；驱动高压变压器，从而产生测量时所需的高压。
3、真空度测试仪磁控电流控制单元
该部分接收控制部分的指令进行充电，阀值比较，状态回送及启动磁控电流等操作。
4、键板 该部分用于接收用户指令，操纵按键使仪器处于不同工作状态。
5、真空度测试仪显示板用于显示各种参数。
若真空度测试仪测试后显示电流值为零，应检查灭弧室表面是否不清洁，因为表面不洁可能使漏电电流的变化值大于电离电流值，这样，测量值减去漏电后小于零而被仪器判为零。发生此种情况后，将灭弧室表面擦净，再做测试。一般来说这样得到的真空度值偏高。
真空度测试仪测量以次测量值为准，连续多次测量所得真空度会逐渐升高，高于灭弧室的实际真空度值。若必须进行多次测量，则每次测量之间的时间间隔一周左右。
