洁净室(cleanroom),又称无尘室,洁净车间。是指空气悬浮粒子数受控的房间。它的建造和使用应减少滞留粒子。室内其他有关参数,如温湿度,压差等要按要求进行控制。

1)按洁净度级别划分
1级、2级、3级、4级、5级、6级、7级、8级、9级。9级为*别。
(2)按气流划分
①单向流:沿单一方向成水平流线并且断面上风速一致的气流。
②非单向流(乱流):不符合单向流定义的气流。
③混合流:单向流和非单向流组合的气流。
(3)按检测状态划分
①空态:设施齐全的洁净室,所有管线接通并运行但无生产设备、材料及生产人员。
②静态:设施已经建成,生产设备已经安装,经净化设备生产厂家认可,在无人员状态下运行。
③动态:设施以规定的状态运行,有规定的人员在场,并在商定的状态下进行工作。