北京智德创新仪器设备有限公司
ZJD-B薄膜介电常数测试设备
全面的解决方案: 公司的阻抗分析仪产品系列可测量的频率范围从 5 Hz 到 3 GHz，使您能在广阔的范围内根据测量需求做出好的选择。本选型指南概括性地向您介绍可以选择的所有产品和附件。
适合应用所需的频率范围: 公司产品提供业界*的性能，丰富的频率选件可以经济的价格满足您的需求。您可以选择适合自身应用的频率范围，也可以灵活选择各种频率升级选件。您可以用*少的投资只购买当前所需的性能，而后再根据需求变化进行升级。
图 1 是 LCR 表和阻抗分析仪所使用的不同测试技术的比较，正如您所看到的那样，每一种技术都有其特别的测量优势:
自动平衡桥法的阻抗测量范围*宽，典型的测量频率在 20 Hz 到 110 MHz 之间，这项技术比较适用于低频和通用的测试。
*技术：公司在提供阻抗测量解决方案方面拥有几十年的经验。常年的经验和持续的技术创新已经融合到公司每种LCR表和阻抗分析仪的设计和生产制造过程当中。公司还有大量相关的技术资料，帮助您更加正确高效的完成各种测量任务(这些资料的清单在第 15 页列出)。
图 1. 阻抗分析仪/LCR 表的阻抗测量技术
表 1. 阻抗测量产品类型
产品类型 | |||
产品要点 | LCR 表 | 阻抗分析仪 | 网络分析仪 |
扫频测量功能 | 点/列表 | 连续 | 连续 |
(开始/停止, 中心/扫宽) | (开始/停止, 中心/扫宽) | ||
显示 | 只有数字显示方式 | 图像 | 图像 |
其他 | 机械手接口，比较器 | 内置等效电路分析功能、 材料测量、在线测量 | 内置等效电路分析功能, 在一台仪表中实现多种测试功能 |
优势 | 低成本解决方案, 容易使用, 测试速度快 | *宽的测量范围, 谐振分析, 电路建模 | 经济高效, 多功能, 仪表体积小 |
-I-V法适用的频率范围从 40 Hz 到 110 MHz，能够测量的阻抗范围要小一些，另外也适用于用探头进行测量的在线测试。
-RF I-V法是I-V法的扩展，在I-V法所适用的阻抗测试范围内，又增加了网络分析在高频测量时所具有的一些优点。RF I-V法是专为的分析和测量射频器件的高频特性而设计的，在测量小电感和小电容方面体现出优越的性能。
-此外，公司的网络分析仪提供了阻抗测量解决方案，综合运用三种测量方法（反射、串联直通和并联直通）进行S参数和增益相位测量。
表2是公司所有阻抗测试产品的一个概括，这个表格可以帮助您对公司的各种仪表进行更好的比较，并使您能够根据下面列出的几方面的需要选出更能满足应用要求的解决方案：
-测试频率范围
-器件的类型或应用的类型
-精度要求（测量技术）
-任何其他特殊要求
如果您觉得针对某一应用要去存在着几种可能的选择，那么可以翻到相应的页码去阅读关于每种产品更加详细的信息。
表2.公司阻抗测量产品一览
产品类型 | 频率范围 | 应用特性 | 产品型号 | 频率范围(Hz) | 基本阻抗精度 1 (%) | 测量结果显示范围 （Ω） | 特性 4 | 测量方法 5 | 主要应用 |
阻抗分析仪 | RF | 高性能/材料/高温度 | E4991B | 1 M 至 3 G | 0.65 | 120 m 至 52 k 3 | A、B | RF-IV | LCR 元件、材料测试和半导体测试 |
多功能 | E5061B选件3L5/005 | 5 至 3 G | 2(典型值) | 1 至 2 k/5 至20 k/1 m 至 5 3(典型值) | A、B | 反射/串联/并联 | LCR 元件、PDN | ||
LF/HF | 高性能/材料/C-V | E4990A | 20 至 120 M | 0.08(0.045典型值) | 25 m 至 40 M 3 | A、B | ABB | LCR 元件、材料测试和半导体测试 | |
在线 (接地)、C-V | 配有42941A 的E4990A | 20 至 120 M | 1 | 50 m 至 4 M 3 | A、B | IV | 在线测试、半导体测试 | ||
LCR 表 | RF | 高性能/高速测量 | E4982A | 1 M 至 3 G | 0.8 | 140 m 至 4.8 k 3 | C | RF I-V | LCR 元件 |
HF | 高性能/材料/C-V | 4285A | 75 k 至 30 M | 0.1 | 0.1 至 10 M 3 | D | ABB | LCR 元件、材料测试和半导体测试 | |
LF | 高性能/材料/C-V | E4980A | 20 至 2 M | 0.05 | 4 m 至 100 M 3 | D | ABB | LCR 元件、材料测试和半导体测试 | |
仪表 | LF | 电容器/高速测量 | E4981A | 只有 120、1 k 和 1 M | 0.07 | 10 fF 至 2 mF 3 | D | ABB | MLCC |
1.基本阻抗精度是仪表工作在佳状态下的值会随测量条件的改变而改变, 详细信息需要阅读具体产品的技术资料。2. 只针对电容的测量3. 阻抗测量精度为 10% 的测试范围。4.产品特性代码的意义:A: 内置等效电路分析B: 频率扫描测试和彩色 LCD 显示C: 点频测试和彩色 LCD 显示D: 点频测试和普通 LCD 显示5. 测量方法代码的意义: ABB:自动平衡桥法 I-V:I-V 法 RF I-V: 射频 I-V 法 Ref:反射法 Series: 串联 - 直通法 Shunt:并联 - 直通法
4. LCR 表、阻抗分析仪和测试夹具－选型指南
阻抗分析仪具有 m? 至 M? 阻抗范围和 5 Hz 至 3 GHz 频率范围，提供同类产品无法匹敌的测量精度。您可以选择适合自身应用的频率范围。
-可对频率、直流偏置、交流电压/电流的大小进行扫描，您可以自行决定些测量条件下以何种方式得到测试结果
-内置等效电路分析功能可以给被测件找出一个符合应用条件的多元件电路模型
-*的校准和补偿方式可以显著降低测量误差
-多种夹具选择满足各种应用需求: 材料介电常数和磁导 率、元器件高温特性表征，各种无源器件，以及接地测量的阻抗探针等等
3 种频率选件: 1 MHz 至 500 MHz/1 GHz/3 GHz，可升级
±0.65% 基本精度和 120 mΩ 至 52 kΩ 阻抗范围 (10% 测量精度范围)
测量参数: |Z|、|Y|、θ、R、X、G、B、L、C、D、Q、|Γ|、Γx、Γy、θΓ、Vac、Iac、Vdc 1、Idc 1
内置直流偏置 (选件 001): 0 V 至 ±40 V，0 A 至 ±100 mA
10.4 英寸彩色 LCD 触摸屏可显示 4 个通道和 4 条轨迹
数据分析功能: 等效电路分析、极限线测试
介电/磁性材料测量 (选件 002)：|εr|、εr'、εr''、tanδ(ε)、|µr|、µrⅠ、µrⅡ、tanδ(µ)
提供温度特征测量 (选件 007) 和可靠的晶圆上测量 (选件 010)
0 5 种频率选件；20 Hz 至 10/20/30/50/120 MHz，可升级
0 ±0.08% (±0.045% 典型值) 基本阻抗测量精度
0 25 mΩ 至 40 MΩ 宽阻抗测量范围 (10% 测量精度范围)
0 测量参数: |Z|、|Y|、θ、R、X、G、B、L、C、D、Q、复数
Z、复数 Y、Vac、Iac、Vdc、Idc
0 内置直流偏置源: 0 V 至 ±40 V，0 A 至±100 mA
0 10.4 英寸彩色 LCD 触摸屏可显示 4 个通道和 4 条轨迹
0 数据分析功能: 等效电路分析、极限线测试
0 用 42941A 阻抗探头 (仅选件 120) 可以进行在线器件或接地器件的测量
0 7 mm 测试夹具与 42942A 端子适配器 (仅选件 120) 配合使用
0 测量速度： 3 ms~/点 (选件 120)、30 ms~/点 (选件 10/20/30/50)
1 需要选件 001
5. LCR 表、阻抗分析仪和测试夹具－选型指南
E5061B-3L5 低频 - 射频网络分析仪在配备了选件 005 阻抗分析功能之后，可在一台仪器内提供网络和阻抗分析功能。E5061B-3L5/005 是多功能和经济高效的解决方案，适用于需要测试各种电子元器件和电路的通用研发应用:
0 S 参数测试端口 (5 Hz 至 3 GHz) 和增益－相位测试端口 (5 Hz 至 30 MHz、1 M Ω/50 Ω 输入)
0 E5061B-005 支持使用 S 参数测试端口或增益相位测试端口的反射、串联直通和并联直通方法。这些方法是进行中低、中高、极低毫欧级阻抗测量的理想选择 1
0 本公司 7 mm 型和 4 端子对型元器件测试夹具可用于反射法(在 S 参数测试端口) 和串联 - 直通法 (在增益 - 相位测试端口)
0 阻抗测量参数: |Z|、|Y|、θ、R、X、G、B、C、L、D、Q
0 内置直流电压偏置电源 (0 至 ±40 V，*值 ±100 mA)
关于每种方法阻抗测量范围的详细信息, 请参见《配有选件 005 阻抗分析功能的 E5061B-3L5 低频 - 射频网络分析仪技术资料》(5990-7033CHCN)。
6. LCR 表、阻抗分析仪和测试夹具－选型指南
