电感耦合等离子体发射光谱仪（ICP）是一种高度的分析技术，可检测样本中的微量物质。但需要定期校准和维护的精密设备，且极为复杂，必须由*来完成使用。尽管ICP测试本身速度很快，但样本制备难度大、时间长，且涉及危险物质。
在许多情况下，XRF分析可完全取代ICP分析，也可在ICP设备停止工作时作为后备仪器。 XRF的用途 XRF分析可检测样本中的绝大多数元素（从百分之几到百万分之几）。可用于检测元素周期表中钠到铀之间的元素，此外，还可测量固体、液体、粉末、糊状物和薄膜。与ICP一样，其测量时间也很快：从几秒钟到几分钟不等。 XRF的优势 如果对ppm以下的范围进行分析，则ICP是理想之选。但对于ppm及以上范围，XRF具备多个优点： 无损测试。不会在样本表面留下痕迹。分析后的样本可重新投入生产，以便进一步加工或运送至客户。 样本制备快速简单。要分析液体、糊状物、粉末或颗粒，只需将其倒入样本杯并放入分析仪中，而固体则可能需要切割成适合分析仪的尺寸。通常无需制备其他样本，从而加快测量过程并降低污染几率。 简单易用。运行XRF测试无需有经验的实验室技术人员。只要稍加培训，任何人均可安全使用设备，并提供准确结果。 购置成本低。运行XRF光谱仪所需的*耗材是样本杯或样本盒，如果测量非常轻的元素（如钠），则可能还需要使用氦。除此之外，*的运行成本就是电费。 无需使用湿化学方法。因为使用XRF测试样本无需购买、储存和处理危险化学品。这可降低成本和员工所面临的风险。 结果更具重现性。XRF分析所测量的样本量大于ICP，因此其测量结果更有可能代表整个样本。样本制备量越少，测试过程中的污染几率就越小。此外，由于测试简单快捷，因此可轻松地复核结果。如果分析ppm以上的钠到铀元素，则可考虑使用XRF替代ICP。
