方型真空腔体测试腔主要用于气体敏感材料或其他对环境敏感性材料中的电信号测试。测试腔体内部装有不锈钢加热承载台，台面为φ100mm，台面*可升温到*350℃。该腔体设计有进气口和抽真空接口和2-4芯信号真空电极，*多可选用6芯电极。使用时将需检测的器件固定在加热台上，由内部探针行将样品电极引入腔体的信号线连接到外部测试仪器，外部信号线连接测试仪器来测试电子信号。
主体材质：304不锈钢
腔体内径：210X210X150MM 长 宽 高
腔体外径：290x260x260MM 长 宽 高
内置加热样品台：φ100（付费可选水冷或液氮制冷样品台）
加热台距离观察窗距离：90mm
加热台控温范围：室温-300℃
观察窗材质：高透光石英玻璃（付费可选其他光学镜片）
密封材质：硅橡胶圈
KF25真空接口数量：6个
抽气阀类型：KF25真空挡板阀
进气口规格： 带阀门 压力表 6mm卡一套接头
出气口规格： 带阀门 8mm宝塔接头
法兰打开方式:带观察窗盲板法兰手提式
电信号接头：可选 4A 220V 4芯真空电极接头X1个
可选 8A 220V 4芯真空电极接头X1个
(付费可选高压或大电流真空接头和光纤接头）
*多可扩展探针：6组 （每组2芯信号输出）
真空度:机械泵 ＜5Pa 分子泵＜10-3Pa 正压≤0.02MPa
以下为客户可选配件：
真空泵2800元（含KF25真空波纹管）, 数显真空计2800元（含KF25-KF16三通转接头），真空信号引出电极380元（220V 4A）。
注意：由于加热台是热传导加热模式 腔体内的加热平台上的温度由于不同真空和气氛环境导致测温误差也不同 常压下为-10℃左右的负偏差 客户可用PT100热电阻贴在和样品接近的样品台面上测准确值做校准
