日本 KOKUSAN科库森旋转式旋转干燥器(离心干燥机) SPD-180

发布时间:2020-01-08

日本 KOKUSAN科库森旋转式旋转干燥器(离心干燥机) SPD-180

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旋转式旋转干燥器SPD-180

特征:

作为面向半导体产业的晶片干燥装置有很多实际成果的装置
利用离心力和气流将工件清洗干净,然后干燥
通过摇架启动机构,自动启动摇架

产品规格:

电源

AC 200 v 3φ50/60hz 15 a

驱动空气

0.5 MPa (5kg/cm )2)

*处理量

2架6英寸托架
5英寸以下载体×2架或4架

允许装载重量

2,000 g以内(各机座的装载重量)

ulpa过滤器

离子发生器

控制

PLC逆变器

操作部

按钮开关

转速

1,000 rpm
(常用转速800 rpm )

电机

变频调速电动机

尺寸

800 ( w )×990 ( d )×1004 ( h ) mm
盖子打开时的高度1528 ( h ) mm

重量

180公斤

其他还有8英寸的对应装置、手动机、自动机等产品系列


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