德国TranSpec Lite 系列白光干涉光谱仪，用于有机膜厚测量，在车灯，薄膜，半导体等行业有众多的应用实例应用白光干涉原理对车灯表面透光层膜厚（TCL，IPL及AFL）进行非接触式、无损、高精度测量。
技术参数：
• 尺寸 (H x W x D): ~ 150 x 195 x 265 mm, 重量: ~4.4 kg
• 自动转换100/240V外部电源
• FSMA 行业标准分叉光光纤连接器
• 德国Carl Zeis的分光仪模块，使用全息凹面衍射光栅
• 512像素光电二极管,无冷却要求
• 工厂预置模块，无移动部件
• 波长范围: 600-1020 nm
• 厚度测量范围：约2um至120um
• 光谱分辨：2.4 nm
• 光谱像素分辨： 0.8 nm
• *波长精度: 小于 0.3 nm
• 温度漂移: 小于0.005 nm / Kelvin
• 集成机械光闸，手动或自动切换
• 美国Welch Allyn 7W微型卤素灯
• 配备FTM-Provis Lite膜厚测量软件，可同时TCL和IPL双层膜厚
• 配备FTM-Lite X膜厚测量软件可，同时分析TCL、IPL和AFL三层膜厚
• 多线程 MDI-应用, 详细的帮助菜单,彩色打印的用户手册
• 通过特定的傅里叶快速转换进行干涉波谱计算
• 用于计算FFT峰位(膜厚结果)的高精度算法
• 准确性+/- 0.005 um, 重复性 +/- 0.002 um( 标准WEG 测试)
• 测量期间能实时显示干涉,FFT波谱和膜厚的趋势
• 考虑折射率和色散 (柯西色散定理)
• 可同时测量双层或三层膜厚
技术特点
光学方法，非接触、无损测量，安全无辐射。
快速膜厚分析，只需几毫秒即可获得测量结果
应用领域：
半导体（SiO2/SiNx、光刻胶、MEMS，SOI等）
LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亚酰胺ITO等)
LED (SiO2、光刻胶ITO等）
触摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率测试等)
汽车(防雾层、Hard Coating DLC等）
医学（聚对二甲苯涂层球囊/导尿管壁厚药膜等）
