Mitutoyo三丰 2D 图像相关编码器549-701 MICSYS-SA1
直线栅尺
旨在获得机床和包括电子半导体生产设备在内的精密仪器的准确位移量
• 采用散斑图的影像相关测量。
• X-Y位置的同步非接触式测量。
• 纳米级分辨力的测量。
• 适于工作台位置重复性的应用。
• 能够测量零件的轻微变形和弯曲。
2D 图像相关编码器
MICSYS-SA1
规格
货号549-701
型号MICSYS-SA1
检测方式激光散斑图像相关
有效测量范围±100μm (2D)
分辨力1nm
精度 (20ºC) ±100nm
数据更新频率 20Hz
标准附件测量用标靶，数据收集用简易软件(CD-ROM)
测量仪器附带检查成绩书
详细信息参见 U-12 页
三
