在短短的18个月内，您现在制造的系统将要制造出复杂程度是您目前制造的芯片两倍的芯片 – 但是售价保持相同。这只有采用可靠而经济的自动化解决方案才能实现。我们都深知，系统整体利用率对于半导体和电子元件制造商有多重要。您需要哪些产品和服务？我们在全球各地为您提供。
您的挑战：可靠调节半导体制造过程中的冷却剂
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应用场合：用Festo解决方案控制和调节冷却管路
Festo解决方案:
? 阀岛 VTUG 和 VTOC (1) 用于可靠控制气控介质阀
? 例如，对于阀岛 CPX-MPA，若需要额外的 I/O 来控制电控阀、集成传感器或建立闭环控制回路。还可实现诊断和远程维护功能。
?气控或电控阀 VZXA, VZQA 和 VZWF (3) 控制介质流。即使在闭环控制回路中也能可靠调节很冷和/或很热的介质。
? 角行程气缸 DFPD (4) 驱动球阀 VZBF (5) 和翻板阀（用于主管线或用于进给/排放管线或温度控制介质，流量大）。
? 传感器 SFAW (2) 和 SPAW (6) 测量流量及介质温度和压力。
用于半导体行业的重点产品
Festo有着庞大的产品组合和产品线，用于电子元件生产机器：带集成安全功能的阀岛VTOC或我们的用于先导介质阀的比例压力阀VEAA/VEAB，因为这些产品通常用于控制和调节工艺气体。
比例压力阀 VEAA
*压力可达10 bar: 压电技术赋予了VEAA极高的精度和非常长的使用寿命。其它优势包括非常短的开关时间、工作安静和非常低的功耗。
ISO 分类产品，用于洁净室
我们项目工程师按您应用的个性化配置来设计即可安装解决方案。您收到的系统解决方案可直接安装在机器上。