HORIBA堀场电导率仪表HE-480C-GC

カーボンセンサ導電率計低濃度タイプ

概要

半導体製造工程のウェットプロセスに使用される薬液は、デバイスの進化に伴い、その種類はますます増加する傾向にあります。HE-480C-GCは耐薬液性の高いセンサを使用することで薬液の導電率を測定し、工程中の濃度管理や薬液の希釈管理、また純水のリサイクル監視などにも*適です。

特長

耐薬液性・圧力性能に優れています
高耐圧・高耐薬液の特殊電極を採用することにより、薬液処理後のDIW Rinceの導電率値測定や循環ラインでの測定に*適です。
金属コンタミフリー
極材に採用しているのは特殊カーボンですので、金属コンタミの溶出の心配がありません。
温度測定・表示機能
温度補償素子Pt1000Ω採用。温度測定・表示が可能です。
測定値とパラメータ設定値を同時表示
設定や設定値の呼出し時も測定値の確認ができます。
豊富な温度補償機能を内蔵
純水の温度特性（基準温度25℃）、NaCl温度特性、基準温度と温度補償係数の任意設定から選択できるので、測定液に応じた温度補償が行えます。
アイコンによる状態表示の充実、セキュリティ機能
計器の状態をアイコンにて表示。わかりやすい表示で操作ミスを防止します。また暗証番号の設定で、すべてキー操作をロックし、誤動作による測定ミスを未然に防止します。
RoHS指令対応

仕様

指示変換器

形式	HE-480C-GC
測定方式	2電極方式
センサ入力	1チャンネル
温度センサ仕様	白金抵抗体1000Ω/0℃
繰り返し性	※1 ±0.5％フルスケール以内 ※2 ±1.0％フルスケール以内 ※3 ±1.5％フルスケール以内（等価入力にて）
直線性	※1 ±0.5％フルスケール以内 ※2 ±1.0％フルスケール以内 ※3 ±1.5％フルスケール以内（等価入力にて）
伝送出力	出力点数：1点 DC4～20mA 入出力絶縁形 *負荷抵抗：900Ω 伝送出力レンジ：測定範囲内で任意設定可
接点出力	出力点数：2点警報接点出力（R1、R2）接点形態：リレー接点 SPDT（1c）接点容量：AC240V 3A、DC 30V 3A（抵抗負荷）接点機能：上、下限動作（ON/OFF制御）、USP判定、異常警報、保守中より選択設定
校正機能	導電率：セル定数の補正係数入力による（パラメータ入力）温度：基準温度計との比較校正 T D S：任意係数（0.30～1.00）による換算
ホールド機能	直前値ホールド、任意値ホールド、連続より選択設定（ただし、メンテナンスモードでは直前値ホールドになります）
自己診断機能	センサ診断（温度センサ短絡、温度センサ断線）測定範囲外 A/Dコンバータスケールオーバー変換器異常
温度補償	純水の温度特性（基準温度25℃） NaClの温度特性基準温度と温度係数任意設定（基準温度：5～95℃ 温度係数：±5％/℃）
温度補償範囲	０～100℃
周囲使用温湿度	温度：-5～45℃、湿度：20～85％（結露しないこと）
電源	AC100～240V ±10％ 50/60Hz 10VA（max）
保護構造	パネル部：IP65、リヤケース：IP20、端子部：IP00(パネル取付屋内設置型)
質量	約400g
適合規格	CEマーキング、FCC Part15
組合せセンサ	ESHシリーズ導電率GCセンサ

センサ

形式		ESH-01-L-GC5-Y-10M	ESH-1-L-GC9-Y-10M
セル定数		（約0.1/cm）	（約1/cm）
接液材質	極部	GC（ガラスカーボン）
	ボディ部	PFA
	パッキン	カルレッツ®
試料水条件		温度：0～80℃、圧力：0～0.5MPa
ケーブル長		10m、Y端子（標準）※4
取付		ねじ込み口径：R（PT）3／4
組合せホルダ		流通形ホルダEFA-30シリーズ ※5

※4ケーブル長、端末処理形状については別途ご相談ください。
※5流通型ホルダは、EFA-30P（PVDF）またはEFA-30F（PFA）をご使用ください。

HORIBA堀场电导率仪表HE-480C-GC

发布时间：2020-06-30

カーボンセンサ導電率計低濃度タイプ

概要

特長

仕様

外形寸法図・他（単位：mm）

HORIBA堀场电导率仪表HE-480C-GC

发布时间：2020-06-30

カーボンセンサ導電率計 低濃度タイプ

概要

特長

仕様

外形寸法図・他（単位：mm）

カーボンセンサ導電率計低濃度タイプ