HORIBA堀场TMAH浓度监测仪HE-960H-TM-S
高精度TMAH浓度监测仪
半導体・液晶プロセスで用いられるフォトレジスト現像液の主成分であるTMAH濃度を高精度に測定します。専用の耐薬センサをラインナップしています。
|
型式 |
HE-960H-TM-S |
|---|---|
|
薬液種 |
TMAH |
|
測定範囲 |
濃度: 0 - 3%, 導電率: 0 - 1000mS/cm |
|
繰り返し性 |
+/- 0.003wt%以内 (温度変動幅+/-0.5℃以内、導電率等価入力にて) |
|
直線性 |
+/- 0.003wt%以内 (温度変動幅+/-0.5℃以内、導電率等価入力にて) |
|
伝送出力 |
4点 |
|
接点出力 |
5点 |
|
通信出力 |
RS-485 |
|
電源仕様 |
24V DC +/- 10% 10W |
|
適合センサ |
FES-510 Series |
|
センサ接液部材質 |
GC, PFA, Karletz® |
