TORAY氧气分析仪MS-500产品介绍
TORAY氧气分析仪MS-500由深圳市京都玉崎电子有限公司供应
TORAY氧气分析仪MS-500现货供应TORAY酸素计/粘度计/水质分析仪等精密计量仪器
氧气计
半导体/液晶/电子零件相关应用
MS-500，LC-450A，LC-450D，LC-860
氧气分析仪MS-500
MS-500
*多可同时测量8个点
浓度显示范围很广，从ppm到100％。
非常适合安装在半导体制造设备，真空设备等上。
传感器为直接插入型（用于真空16/25/40的NW法兰）
具有特殊涂层的高度耐用的传感器，可进一步提高耐用性
MS-500设备规格
测量原理 氧化锆浓缩池类型
形状 分体式（转换器：壁挂式，传感器：直接插入式）
显示方式 4位数字显示（密度显示）
测量范围 0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol％O 2 10 -20至10 -0 atm
自动量程
重复性 在±0.5％FS 0-1％范围内或更高
±1％FS或±
0.1ppm中，以较大者为准小于0-1％范围0-1ppm，atm范围出保证的浓度范围
测量点数 1〜8
样气条件 压力 10 -3至200 KPa（*压力）
流量 0.5至5,000 mL / min或0 mL / min（自发扩散状态的测量）
湿度 露点低于环境温度
温度 0-100°摄氏度
其他 请勿包含腐蚀性气体（氟气，氯气，硫化物气等），含有机硅的气体，可燃成分（包括气体），油和水。
比较气 大气层
记录仪输出 仅变速箱输出
变速箱输出 RS-232C
报警输出 没有
热身时间 6分钟以内
尺寸 MS-500（控制器） 92（W）×44（H）×120（D）（不包括突起）
MS-510（转换器） 100（W）×40（H）×88（D）（不包括突起）
传感器单元 SD16NW 长100mm（感应部分Φ11×39，主体部分Φ40×51）
SD25NW 长100 mm（感应部分Φ11×42，主体部分Φ40×48）
SD40NW 长100mm（感应部分Φ11×41，主体部分Φ40×49）
大众 MS-500（控制器） 约0.6Kg
MS-510（转换器） 约0.5kg
传感器单元 SD16NW 约0.2Kg
SD25NW 约0.2Kg
SD40NW 约0.35Kg
外部连接 真空法兰（NW16、25、40）
使用电源 24VDC±10％
氧气浓度计LC-450A，LC-450D
LC-450A，LC-450D
在
较宽的浓度范围内进行测量从ppm水平可以显示100％的较宽浓度显示。
改进的传感器耐用性
氧气传感器经过特殊处理，以提高其耐用性。
交流宽电源AC100-240VAC（LC-450A）
* LC-450D由24V DC驱动
紧凑且易于安装
深度比我们的传统型号还要短，并且不会占用太多空间。
符合RoHS的产品
CE标志自我声明产品
EN61010-1：2002，EN61326：+ A3：2003
LC-450A设备规格
测量原理 氧化锆浓缩池类型
形状 桌面/面板安装类型
显示方式 4位数字显示（密度显示）
测量范围 0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol％O 2 10 -20至10 -0 atm自动量程
重复性 在±1％FS 0-1ppm以内，atm范围出浓度保证范围
取样方式 内置泵的连续吸入型
样气条件 压力 加压小于30KPa
流量 1,000-2,000毫升/分钟
湿度 露点低于环境温度
温度 0-50°摄氏度
其他 请勿包含腐蚀性气体（氟气，氯气，硫化物气等），含有机硅的气体，可燃成分（包括气体），油和水。
比较气 大气层
记录仪
输出 氧气浓度输出 在4-20mA或0-20mA之间切换（可选0-10V）绝缘，负载电阻550Ω或更小
记录仪输出范围为满量程，线性输出至氧气浓度
输出范围 0-100％，0-1000ppm，0-100ppm，0-10ppm自动/固定范围
变速箱输出 RS-232C
报警输出 失败（设备错误） 1分 非电压接点，接点容量30VDC / AC或更小，0.5A或更小
由于设备错误导致的触点闭合（触点操作可更改）
ALM（浓度警报） 2点（高/低） 非电压接点，接点容量30VDC / AC或以下，0.5A或以下
发生警报时的接点闭合（可以更改接点操作）
RDY（预热信号） 1分 非电压接点，接点容量30VDC / AC以下，0.5A以下
非电压触点的*小开关容量为12 V或更高，因此无法承受微小的负载。
MRK（范围标记）输出 2分 非电压接点，接点容量30VDC / AC以下，0.5A以下
热身时间 5分钟以内
尺寸 身体 210（W）×134（H）×300（D）mm（不包括突起）
大众 约6kg
气体
连接口 进口 Rc1 / 4
旁路输出 Rc1 / 4
出口 Rc1 / 4
使用电源 100-240VAC，50VA（稳定时间：35VA）50Hz / 60Hz
LC-450D设备规格
测量原理 氧化锆浓缩池类型
形状 桌面/面板安装类型
显示方式 4位数字显示（密度显示）
测量范围 0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol％O 2 10 -20至10 -0 atm自动量程
重复性 在±1％FS 0-1ppm以内，atm范围出浓度保证范围
取样方式 内置泵的连续吸入型
样气条件 压力 加压小于30KPa
流量 〜1,500升/分钟
湿度 露点低于环境温度
温度 0-50°摄氏度
其他 请勿包含腐蚀性气体（氟气，氯气，硫化物气等），含有机硅的气体，可燃成分（包括气体），油和水。
比较气 大气层
记录仪
输出 氧气浓度输出 0-10VDC，绝缘，负载电阻600kΩ或更高
（选件：4-20mADC，绝缘，负载电阻550Ω或更低）
记录仪输出范围为满量程，线性输出至氧气浓度
输出范围 0-100％，0-1000ppm，0-100ppm，0-10ppm自动/固定范围
变速箱输出 RS-232C
报警输出 失败（设备错误） 1分 非电压接点，接点容量30VDC / AC或更小，0.5A或更小
由于设备错误导致的触点闭合（触点操作可更改）
ALM（浓度警报） 2点（L / LL） 非电压接点，接点容量30VDC / AC或以下，0.5A或以下
发生警报时的接点闭合（可以更改接点操作）
RDY（预热信号） 1分 非电压接点，接点容量30VDC / AC或以下，0.5A或以下在
预热期间，接点闭合（可以更改接点操作）
无电压触点的*小开关容量为12 V或20 mA或更高，并且无法承受微小的负载。
MRK（范围标记）输出 2分 非电压接点，接点容量30VDC / AC以下，0.5A以下
热身时间 5分钟以内
尺寸 身体 240（W）×134（H）×210（D）mm（不包括突起）
大众 约5kg
气体
连接口 进口 Rc1 / 8
旁路输出 Rc1 / 8
出口 Rc1 / 8
使用电源 24VDC±10％，1.25A（30VA，稳态）
氧气分析仪LC-860
LC-860
低浓度测量可测量
ppb到100％
操作简便使用
功能键即可轻松进行操作
吹扫功能
比较气体的测量更稳定，测量更（仅具有吹扫功能）
高度可靠的传感器
可以在传感器内部进行防劣化处理（可选）
LC-860设备规格
测量原理 氧化锆浓缩池类型
形状 桌面/面板安装类型
显示方式 6位数字显示（浓度显示）
测量范围 0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol％O 2 10 -20至10 -0 atm
自动/固定范围
重复性 在±1％FS内
氧气浓度小于1ppm和0-1ppm，atm范围出保证的浓度范围
取样方式 内置泵的连续吸入型
样气条件 压力 加压小于30KPa
流量 〜1,500mL /分钟
湿度 露点低于环境温度
温度 0-50°摄氏度
其他 请勿包含腐蚀性气体（氟气，氯气，硫化物气等），含有机硅的气体，可燃成分（包括气体），油和水。
比较气 大气层
记录仪
输出 氧气浓度输出 4-20mA / 0-10V 4-20mA
：绝缘，负载电阻为600Ω或更低
0-10V：绝缘，负载电阻为500Ω或更高
记录仪输出范围为满量程，线性输出至氧气浓度
输出范围 0-100％，0-10％，0-1％，0-1000ppm，0-100ppm，0-10ppm，0-1ppm，10 -20 -10 -0 或任意4个自动/固定范围
变速箱输出 RS-232C
报警输出 失败（设备错误） 1分 非电压接点，接点容量24VDC / AC或更小，0.1A或更小
由于设备错误而导致的触点闭合（触点操作可更改）
ALM（浓度警报） 2分 非电压接点，接点容量24VDC / AC以下，0.1A以下
发生警报时的接点闭合（可以改变接点动作）
RDY（预热信号） 1分 非电压接点，接点容量24VDC / AC或以下，0.5A或以下在
预热期间，接点闭合（可以更改接点操作）
非电压触点的*小开关容量为12 V或更高，因此不可能承受微小的负载。
MRK（范围标记）输出 3分 非电压接点，接点容量24VDC / AC以下，0.1A以下
热身时间 20分钟以内
尺寸 身体 288（宽）×144（高）×400（深）mm（不包括突起）
大众 约10kg
气体
连接口 进口 Rc1 / 8
旁路输出 Rc1 / 8
出口 Rc1 / 4
使用电源 100-120VAC±10％200VA 50Hz / 60Hz的
