日本 TORAY 半导体用氧气浓度计MS-500 其他液晶电子部件相关用途

发布时间:2020-08-29

日本 TORAY 半导体用氧气浓度计MS-500 其他液晶、电子部件相关用途

日本 TORAY 半导体用氧气浓度计MS-500 其他液晶、电子部件相关用途现货由北崎国际贸易(北京)有限公司供应TORAY全系列产品,并优势提供报价

氧气浓度计MS-500

MS-500

  • *多可同时测量8个点
  • 可从ppm水平进行*的广泛浓度显示。
  • *适合搭载于半导体制造装置、真空装置等
  • 传感器为直插式(真空用NW法兰16/25/40 )
  • 对高耐久的传感器实施特殊涂层,进一步提高耐久性

MS-500机器规格

测量原理 氧化锆浓淡电池式
形状 分离型(转换器:壁挂式,传感器:直插式)
显示方式 数字4位显示(浓度显示)
测量范围 0-1/10/100/1000 ppm/1/10/100体积% o210-20-0自动取款机
自动灶
重复性 ±0.5%FS以内0-1%范围以上
±1%FS以内或±0.1ppm中较大者小于0-1%范围
0-1ppm,atm范围在浓度保证范围外
测定点数 一八
样品气体条件 压力 10-3~200KPa (*压力)
流量 0.5-5,000毫升/分钟或0毫升/分钟(自然扩散状态的测定)
湿度 露点在环境温度以下
温度 0~100℃
其他 不含腐蚀性气体(氟系气体、氯系气体、硫化系气体等)、含有有机硅的气体、可燃成分(也含气体)、油分、水分
比较气体 大气
记录仪输出 仅传输
传输功率 RS-232C战斗机
警报输出
预热时间 6分钟以内
尺寸 MS-500 (控制器) 92(W)×44(H)×120(D ) (不含突起部)
MS-510 (转换器) 100(W)×40(H)×88(D ) (不含突起部)
传感器单元 SD16NW足球俱乐部 全长100mm (传感部Φ11×39,躯干部Φ40×51 )
足球联赛 全长100mm (传感部Φ11×42,躯干部Φ40×48 )
新干线 全长100mm (传感部Φ11×41,躯干部Φ40×49 )
质量 MS-500 (控制器) 约0.6公斤
MS-510 (转换器) 约0.5公斤
传感器单元 SD16NW足球俱乐部 约0.2公斤
足球联赛 约0.2公斤
新干线 约0.35Kg公斤
外部连接 真空法兰( nw16、25、40 )中的任意一个
使用电源 24VDC±10%
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