压电平台_1800μm大行程压电纳米定位台P14系列 压电平移台-辽宁研生-制造商
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产品特点：
◆ 一至二维压电平移台，多种行程、外形尺寸可供选择；
◆ 大行程达1800µm；
◆ 采用无摩擦高精度柔性铰链导向系统，有效消除侧向运动分量；
◆ 内置高性能的压电陶瓷，高可靠性；
◆ 内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈，开/闭环可供选择。
产品应用：
显微光学 • 半导体测试 • 干涉测量 • 纳米定位 • 生物技术 • 微加工 • 微操作
配套压电控制器 模块化控制器E5系列
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研生公司的纳米级精密定位产品类型丰富，运动自由度从一维至六维[X,Y,Z,θX, θY,θZ]，运动行程从几微米至几千微米，承载能力从几百克至几百千克，推/拉力从几牛顿至几千牛顿，具有多种结构类型如叠堆式结构、嵌套式结构以及性能更优异的并联式结构等，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级，主要技术指标已达到国际水平，可地替代进口产品。
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