ANRITSU安立计器带有热电偶硅片AW-0505K-A-TS1-ANP
熱電対付きシリコンウェーハ AWシリーズ
AWシリーズは半導体製造装置の開発・プロセス条件出しや温度分布計測に必要不可欠な”熱電対付きシリコンウェーハ”です。
ウェーハサイズ・熱電対センサ点数・熱電対絶縁被覆種類 など項目を「自由に組み合わせる」ことができます。
また、特注品の対応も可能です。
熱電対付きシリコンウェーハ AWシリーズ
タイプKの場合 AW-0505K-A-TS1-ANP
製品情報
使用温度範囲0～500℃許容差0℃以上100℃以下:±2.5℃
100℃200℃以下:±5.0℃
200℃300℃以下:±6.0℃
300℃400℃以下:±7.0℃
400℃500℃以下:±8.0℃耐久性構造が特殊なため評価なし成績書試験点(付属品)100,200,300,400,490℃センサ点数5点コードの種類と長さタイプKの場合 :
TS-Kコード 1m
プラグ形状タイプKの場合 :
ANP-K-M一般(メーカー)校正の温度範囲50～490℃JCSS校正の温度範囲本製品はJCSS校正を行っておりません。修理修理できます。製作納期約3週間(受注生産品)
