近年随着科技的一直提高和国民需求的日益增添，我国半导体消费行业得到了较快的开展，然而随之而来是少量的半导体废水排放问题。
在集成电路封装制作历程中会对晶片进行切割和研磨，并且会运用纯水 进行洗净，这样就发生了少量的切割研磨废水。目前海内大局部的厂家是采取 加药混凝积淀和滤袋过滤方法处理的，出水到达污水综合处理达标排放的规范。 有一些厂家尽管是采取膜法过滤处理废水，但膜梗塞重大，清洗频繁，少量使 用化学药剂，运行老本昂扬。
浙江半导体研磨废水处理回用的处理方法，其特性在于，包含如下步骤：
（1）通过废水搜集箱搜集硅片研磨发生的废水；
（2）应用水泵将废水泵入多介质过滤器进行一次过滤；
（3）将经过一次过滤的水送入保安过滤器进行第二次过滤，所述的保安 过滤器用于掩护滤膜；
（4）将经过第二次过滤的水送入滤膜过滤安装中进行第三次过滤；
（5）通过SDI测定仪或许浊度仪测定并判定经过第三次过滤的水能否契合欲先设定的规范请求，如契合规范请求，送入产水箱；如不契合规范的请求， 送入废水搜集箱反复步骤S1至S4。
