OPTIMET MARK3.0

发布时间:2017-07-13

一、产品介绍:
1、小可达3.5μm,容易对准微小目标,轻松实现对微小孔孔深的测量
2、亚微米级精度,可加载多种光学附件
3、配16mm镜头可达到0.1μm的再现性
4、可配多个镜头,单测头满足不同测量需求
5、多种触发模式可选
6、实时性:不同于传统的高采样率,低测量率,实现采样及测量的统一,真正实现高速实时测量 
7、镜头组是扫描系统中的重要部件,选用不同焦距的镜头组决定了其不同的有效深度范围及XY方向可用的小步距,焦距决定了扫描的精度
8、扫描控制软件Copymate:由以色列软件开发团队历经20年的实践开发出的扫描控制系统,扫描结果可以输出STL、TIF、、BMP、VRML及点云格式等。
二、技术参数: 

透镜焦距

16

25

25
Gold

40

50

Z 轴特征(竖直方向)

 

精度(μm)

<0.5

<1

<1

<2

<2.5

重复定位精度1σ (μm)

<0.1

<0.2

<0.2

<0.4

<0.5

扫描景深 (mm)

0.2

0.6

0.6

1.4

2

与模型间隔mm)

9.5

14

18

43

41

测量角度(°)

150°

170°

X轴特征

 

横向分辨率 (X) (μm)

2

4

4

7

10

激光光斑尺寸 (X) (appr.) (μm)

3.5

6

6

10

15

质量

 

镜头质量(g)

460

40

40

122

25

扫描头质量(g)

700

控制盒质量 (g)

96

数据处理

 

扫描采样速度

3000点/秒pps

接触面

 

通信

Ethernet 10/100 UDP

信号控制

ROG – 输出; 外部触发– 输入 模拟信号 –范围±5; OPS* (可选)

供电电压

12V- 0.5 Amp DC

环境温度 (°C)

18 to 35

激光等级

FDA – class II; IEC

 

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