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使用相同的方法计算暖通、动力*设备的生产费用，从而得到花费的详细统计如表2所示。这种方法统一了暖通、动力*工程费用，而没有区分微电子洁净室、制药和生物制药洁净室(计算数据如表表表表6和表7所示)。基于以上这些表格，以ISO5级洁净室暖、动力*工程花费为基线绘制了关键价值因素图表;从而得到花费因素价值数据，如表8所示。这些经验变量可以用百分数的形式乘以每平方英尺的工程费用来计算不同类型洁净室的花费，也能在项目初期帮助进行工程费用评估。
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在清洗过程中，由于能量强大，不需加任何填充物及洗涤剂，即可清洗干净，故成本很低。其次，节水节能，此种清洗方法与消防用水不同，属细射流喷射，所用的喷嘴直径只有.5-2.5毫米，故耗水量只有1-5立方米/小时，所用动力的功率为9-9千瓦，故属节水节能设备。清洗质量好：清洗管道及热交换器内孔时，能将管内的结垢物和堵塞物全部剔除干净，可见到金属本体。具有巨大的能量且以音速运动的高压水射流完全能够破坏坚硬结垢物和堵塞物，但对金属却没有任何破坏作用。
加药脱色气浮，臭氧氧化以及新的膜处理技术，加药脱色气浮投资较其他两种省，但由于需要的脱色絮凝剂，运行费用很高，臭氧氧化效果稳定时对不生物降解COD去除率也有高，是一种*的处理单元，但一直因为其设备使用稳定性和价格原因一直未能得到有效推广。膜处理用于工业废水是近几年发展起来的，由于它是一种微孔径机械过滤，所以对去除色度和COD有着其他工艺不可比拟的优势。但由于膜本身易被污染的原因一直未能真正得到有效推广。
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