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其步骤为，切断电源，将真空泵从真空系统上卸下，用重力法或加压法将脏油放出并收集起来，以免污染环境；卸下皮带、皮带轮积键(双级旋片真空泵包含皮带);先拆低真空端，取下后端盖，再取出低真空转子、旋片及弹簧等；将前端盖拆下，取出高真空转子、旋片及弹簧等；取下视镜、排气阀、排气盖等；将所拆下的金属零件用汽油清洗干净，并用酒精脱水。橡胶零件可用15％的氢氟化钠水溶掖煮沸去油。
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该技术核心是低温等离子体单元，技术关键是：?大功率高压快速上升沿窄脉冲电源设计制造，本系统使用IG驱动的无感电源，具有上升沿速度快、拉弧保护、过载保护、等特点。单电源功率2W。?高压电源与放电、捕集极板的匹配技术、绝缘技术、安全防护技术，保证电源工作在理想的负荷状态。?催化剂极板的催化剂合成、担载和制作技术，采用纳米材料原位装配技术、辅助烧结、表面活化处理技术，使催化剂极板具有耐轰击、耐腐蚀、长寿命、可清洗等技术条件。
当然对CO2激光器来讲温度要求2℃到5℃，市面上大多数水冷机都可以做到。水质要求和水过滤以及水循环系统材质a.这一综合指标往往被忽略，但其非常重用，直接影响激光器的寿命。对CO2玻璃管激光器来讲，两端镜片出属于水流死角，很容易滞留水中的杂质，造成散热不良，镜片的微变形直接影响激光器的输出光束质量和光斑模式。ii.对射频激光器来讲，散热板聚集水垢和铜锈等杂质会造成腔内温度过高电极板变形，进而温度传感器报警，激光器不出光等故障产生。
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