描述CKD水用流量传感器WFK6027-20-A4

发布时间:2021-03-05

描述CKD水用流量传感器WFK6027-20-A4

描述CKD水用流量传感器WFK6027-20-A4

特点:

【省空间】

紧凑型设计,有利于节省装置和系统的空间。

【输出类型丰富】

产品包括模拟输出1点的S型、开关输出2点的M型、模拟1点·开关1点的C型,可应对各种用途。

【支持单元化】可搭载于水集成单元WXU,大幅度减少水配管的空间、设计、配管工时。

小型、轻亮的通用小流量传感器。

实现了高速响应(50ms以下)(FSM-V为5ms以下)。

从承压状态到真空状态,可在各种情况下使用。

显示部分备有一体和分离型。

也有6种极小型的装置内置FSM-V。

可当场确认瞬时流量

显示部分和传感器为紧凑整体型。

采用5位数的数字显示,可一目了然地确认*的累计量。

通过切换显示,可进行长期的积算显示。

WFK3000

可根据用途选定机种

小型·轻量,适合半导体制造装置等的元件插入

配线后立刻可使用

 旋转开关仅为设定流量。

上下游都不需要直管部分,安装形式自由,高达±5%FS以下(直线性)(FSM-H为±3%)。

备有SUS主体,用于不希望有树脂释放的气体的用途。

无需补偿,可直接读取流量(0.5ml/min~100l/min为止,有11种)。

传感器型 (WFK3000S)

 可通过模拟输出控制流量。

带显示的开关类型 (WFK3000M)

气口形状·材质:内螺纹、不锈钢( (SUS)

 流量范围:1.5~12 /min

 接管口径:Rc3/8

 警报输出形式:NPN晶体管开式接插件2点(b接点)

 支撑件:不带   

WFK2系列产品:

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