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悬浮分子污染(AMC)4.1AMC的分类及控制要求情况AMC作为IC工厂所关心的问题于2年前先由日本人提出，近年来，IC生产园片直径已达3mm，工艺加工尺寸(线宽)已小于.15m，在某些加工工序及工序间园片的传送和存放环境中AMC已成为严重影响成品率的问题，已被清楚的认识到，AMC的控制已由谈论转到需要实施。对于IC生产，AMC分为D四类，即：A酸性物质，如Hcl等;B碱性物质，如NH3等;C沸点高于室温能在光洁表面冷凝的物质，主要是碳氢化合物，某些工艺加工环境中的水蒸汽亦需要考虑;D掺杂物质，能为园片表面吸附或与表面相互反应的物质，如砷、硼、磷等。
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原因：过滤网孔被污泥阻塞，使过滤器不畅通，当制冷剂流过滤网时，发生了节流现象，即有一部分液体气化吸热，使过滤器发凉，严重的会结露。另一种不正常的现象是过滤器不热，与环境温度相当，其原因是过滤网完全堵塞不通，制冷剂不能流动。吸气温度的状况正常情况下，吸气管用手摸感觉很凉，并结有露水。不正常情况下：种：吸气管较冷、露水太多，以致使机壳大面积结露。原因是制冷剂流量过大，液体不能在蒸发器内全部气化，有液体回流现象。
气体成分除特殊情况外,布袋除尘器所处理的气体,多半是环境空气或炉窑烟气,通常情况下布袋除尘器的设计按处理空气来计算,只有在密度、黏度、质量热容等参数关系到风机动力性能和管道阻力的计算及冷却装置的设计时,才考虑气体的成分。在许多工况的烟气中多含有水分,随着烟气中水分的增加,布袋除尘器的设备阻力和风机能耗也随之变化。含尘气体中的含水量,可以通过实测来确定,也可以根据燃烧、冷却的物质平衡进行计算。烟气中有无腐蚀性气体是决定滤料、除尘器壳体材质及防腐等选择所必须考虑的因素。
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