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污染物的源头可能存在于手套箱、过滤模块等地方。多数设计为整体单向气流洁净室外的方案，只有在这些区域中没有作业者、生产设备和排风装置时才能实现单向气流。垂直或水平气流的选择，取决于房间的结构和设备的安放位置，紊流就可以将污染物带走。洁净室内的架空地板是用来掩盖工具、设备与动力设备之间的电线、通讯电缆、水电、管道的连接的。后来，为了节约成本，在bay-and-chase式的洁净室结构中，这些架空地板被当作从港湾到夹层的回内通道。
在这种情况下，滤布上积附的粉尘量远远过油雾量，就可以防止发生油雾黏结的麻烦，保证了稳定运转。吸湿潮解粉尘吸湿性和潮解粉尘如CaO、Na2CONaHCO3，NaCI等易在滤布表面吸湿板结，或者潮解后成为黏稠液，以至造成清灰困难、压力损失增大，甚至迫使停止运转。在这种情况下，处理吸湿性、潮解性粉尘的一般注意事项列举如下。、不应当不管尘源设施是否运转一律连续开动，应在尘源设施开动时才开动。当滤布上堆积粉尘成层时，不应使含湿空气通过。
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