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近年来技术的微型泵生产商在电机、隔膜材质上取得了突破性的进展，薄膜泵的使用在发达*得到了很大发展，逐步占领了其它泵的一些领域。相信随着技术的进步，薄膜泵在我国的运用必将日益广泛。微型薄膜泵是利用曲柄把电机的旋转运动转换为薄膜的振动，由于机构的原理，不可避免地存在压力和流量的波动。在流量-时间曲线上，泵的瞬时流量以类似正弦曲线的波形变化。每分钟泵的瞬时流量叠加后称为平均流量。理论上的平均流量与泵腔和薄膜的大小、薄膜振幅、每分钟电机转速有关。
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容尘量g：过滤器到达终阻力时在滤料上所容纳的灰尘重量。滤速滤速是指空气垂直于滤料方向穿过滤料的速度。不是过滤器迎面风速。滤速越大粒子惯性力越大，对粗、中效过滤器而言效率越高，但滤速越大，过滤器对空气的阻力也越大。所以一般粗效过滤器滤速为1~2m/s，中效过滤器的滤速.2~1m/s。滤速越大，不利于微小粒子的运动，因此对、过滤器的滤速一般控制在.2m/s左右。过滤器滤料和结构形式粗效过滤器的滤料一般为：玻璃纤维、化纤、无纺布等其结构型式多为板式、折叠式和袋式。
NOX的形成主要分成燃料型、热力型、快速型三类。通用控制技术有燃烧优化控制和末端治理二种。燃烧优化控制是指优化燃烧过程，降低NOX的合成，对热力型NOX效果为显著；末端治理技术是指在NOX产生后进行后处理，如煤锅炉的尾部脱硫脱硝。我国的燃气锅炉低氮排放措施主要采用各种燃烧优化控制技术，降低燃烧温度，从而降低NOX排放。要实现3mg/m3以下的低NOX排放，市场主流技术有三种：低氮扩散式燃烧器+烟气再循环技术（FGR）常规燃气燃烧器NOX排放能达到12mg/m3。
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