PFMV530F-1流量传感器SMC选型参数
结构资料:
以制作在白金薄膜中的加热器(Rh)为中心，左右对称配置上游测温传感器(Ru)和下游测温传感器(Rd)，
再加上作为气体测温用的环境温度传感器(Ra)构成本MEMS传感器触点。
原理如右图所示，(a)气体在静止状态时，以Ph为中心加热后的气体温度呈分布均等状态，Ru·Rd同时显示同样的电阻值。
此外.(b)气体由左侧向右侧流动时，被加热的气体温度分布不再对称，Rd的电阻值会变为大于Ru。
由于Ru和Rd电阻值的差与流动气体的流速成比例．因此可测定其电阻值并根据计算处理得知气体的流向和流速(流量)。
Ra用于补偿气体温度或者环境温度。
微小工件的吸附确认
重复精度: ± 2% F.S.以下
类型 分离型传感器部
耐压试验压力 0.5 MPa
使用流体温度 0～50℃
使用温度范围(动作) 0～50℃
响应速度: 5 ms 以下、耐压: 500 kPa
无润滑脂、对应RoHS
一个电压监控器即可对应全部量程
相关元件:真空过滤器ZFC050系列
适用流体 干燥空气 / N₂
OUT1输出形式 模拟电压输出
传感器响应时间 0.005 s
配管规格 M5X0.8
模拟输出精度 ±5% F.S.
重复精度 ±2% F.S.
电源电压 DC12～24V±10%
消耗电流 16mA以下
额定压力范围 -0.07～0.3 MPa
使用压力范围 -0.1～0.4 MPa
PFMV530F-1流量传感器SMC选型参数
