原装松下SUNX定位传感器M-DW1安装位置
半导体晶圆的定位装置：
使具有沿外周部由环状凸部构成的加强部的晶圆的,形
载物台1上,使多根引导销进入到形成于加强部的各缺
口中而进行中心对准.之后,一边在吸附保持晶圆的加
成在该加强部内侧的图案面朝下地,将该晶圆载置于包
括具有大于等于晶圆外形的尺寸的晶圆载置面的保持
强部的状态下使保持载物台旋转,一边由光传感器检测
设于晶圆外周的定位部.
FT-Z802Y，
FD-S60Y，
FD-HF40Y，
FD-F41Y，
FD-F71
FD-R33EG，
FD-R34EG，
FX-101P-CC2，
FT-R60Y，
构造分析：
定位传感器,包括基准板和测量头,基准板包括*永
磁体,第二永磁体和第三永磁体,*永磁体,第二永磁
头还包括PCB板,外壳和信号引出线.本实用*的原点
定位传感器设计巧妙,结构简洁,性能稳定,成本低,能满
体和第三永磁体依次水平间隔设置,测量头包括*磁
基板,防尘罩,*非磁填充板和第二非磁填充板,测量
足高精度的数控系统中原点定位的应用,提高加工精度
测量元件和第二磁测量元件,*磁测量元件和第二磁
测量元件水平设置并相互贴合.较佳地,基准板还包括
,适于大规模推广应用.
FX-101P，
FT-V80Y，
FT-R44Y，
FD-R61Y，
FT-HL80Y，
FT-L80Y，
FD-R32EG，
FD-R31G
原装松下SUNX定位传感器M-DW1安装位置
