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江崎代理μLF-300日本SONIC微少液体流量計
μLF-300S音波微少液体流量計
微少液体流量计μLF-300S（传感器分离型）
在IPA、纯水、药液等半导体制造工序中，对微小领域的流量管理
・从1ml/min开始的微量流量测量
・通过数字信号处理进行微少流量高精度测量
・传感器部分与流体非接触结构
・宽范围可用性
微少液体流量計 μLF-300（一体型）
μLF-300 | |
変換器 | |
型式 | μLF-308I (1/8 inch) または μLF-304I (1/4 inch) |
測定原理 | 音波伝播時間差方式 |
被測定液体 | 純水、水溶液、各種薬液 |
* 水以外の液体の場合は事前にご確認ください | |
適応流体温度範囲 | 10℃～60℃ |
* 60℃以上の場合は事前にご確認ください | |
環境温度範囲 | 温度：0℃～50℃(結露がないこと） |
流量範囲 | 0 ml/min ～ 1000 ml/min (μLF-308I) |
0 ml/min ～ 4000 ml/min (μLF-304I) | |
測定精度 | ±1%RD (1/8 inch : 200 ～ 1000ml/min, 室温, 水の場合) |
±2ml/min (1/8 inch : 0 ～ 199ml/min) | |
±1%RD (1/4 inch : 800 ～ 4000ml/min, 室温, 水の場合) | |
±8ml/min (1/4 inch : 0 ～ 799ml/min) | |
繰返し性 | ±0.2% (液温±0.5℃, 30秒平均値) |
応答性 | 10 msec |
構造 | 屋内仕様 (IP65相当) |
電源 | DC 5V ±10% |
消費電力 | 1.5W以下 |
重量 | 350g (本体部のみ) |
検出部 | |
チューブ素材 | PFA (フッ素樹脂) |
チューブ径 | 1/8 inch OD: 3.17mm, ID: 2.17mm |
1/4 inch OD: 6.35mm, ID: 4.35mm | |
出力部 | |
シリアルポート | 4線式RS-422 |
通信プロトコル | データビット 8bit 固定, 偶数パリティ固定, ストップビット 1bit 固定 |
ボーレート | 38400 baud |
シリアル出力内容 | 瞬時流量値、積算流量値、エラーコード |
