防止出现与真空回路或空气中的污染物相关的问题
滤芯表面积大
①本产品的适合性由系统设计者或规格制定者来判断。
因为本产品的使用条件多样化，所以请由系统的设计者或规格的制定者来判断系统的适合性。必要时请通
过分析和试验进行判断。
本系统的预期性能、安全性的保证由判断系统适合性的人员负责。
请在参考*的产品样本及资料，确认规格的全部内容，且考虑到可能发生的故障的基础上构建系统。
②请具有充分知识和经验的人员使用本产品｡
在此所述产品若误操作会损害其安全性。
机械·装置的组装、操作、维修保养等作业请由具有充分知识和经验的人进行。
③请务必在确认机械･设备的安全之后，再进行产品的使用和拆卸。
1.请在确认已进行了防止移动体掉落和失控等对策之后再进行机械·装置的点检和整备。
2.请在确认已采取上述安全措施，并切断了作为能量源的设备电源等，以保证系统安全，同时在确认和理
解设备上产品个别注意事项的基础上，进行产品的拆卸。
3.重新启动机械·设备时，请对意外动作·误操作采取预防措施。
④在下述条件和环境下使用时，请在考虑安全对策的同时，提前与本公司联系｡
1.明确记载的规格以外的条件或环境，以及室外或阳光直射的场所。
3.预测对人身和财产有重大影响，特别是在有安全要求的场合使用时。
4.用于互锁回路时，请设置应对故障的机械式保护功能，进行双重互锁｡另外请进行定期点检，确认是否正
常作动｡
① 到滤芯更换时间时，请立即更换为新滤芯或更换用滤芯。
② 滤芯的更换时间
满足以下任一条件时，请更换滤芯。
1）自开始使用 1 年后
2）自开始使用虽未满 1 年但压力降为 20kPa 时
③ 拆分、安装时请确认垫片无伤痕无损坏。
④ 更换滤芯后，请进行气密性检查，确认有无空气泄漏。
