parylene涂层的气相沉积制备过程：首先固态的对二原料在蒸发腔内随着温度的升高逐渐吸热升华；升华后的二聚体气体进入裂解腔，在680℃左右的温度下，二聚体的分子键被断开，形成具有两个悬空键的活性parylene单体；后parylene单体被送到室温的真空沉积室里，在工件表面进行聚合沉积，终形成一层致密的保护膜层。其中parylene涂层性能特点：1.疏水性：低表面能（＜10dyne），优异的疏水性能，疏水角大于90度2.耐候性佳：耐UV紫外线，耐腐蚀（耐盐雾、抗氧化、耐酸碱）3.高绝缘性：高阻抗值，高致密性，气孔少4.抗高低温：-200℃到350℃5.膜薄：～μm，无色透明6.不影响信号：涂层厚度薄且不含金属等导电物质7.导热佳：涂层导热性能好8.耐久性：与线路板同寿命，附着力牢固稳定，耐候性佳，耐高低温变化9.环保无毒：环保无毒，符合FDA，满足生物相容性。
