气体质量流量计采用热扩散原理，其典型传感元件包括两个热电阻，一个是速度传感器，另一个是自动补偿气体温度变化的温度传感器。当两个热电阻被置于介质中时，其中速度传感器被加热到环境温度以上的一个恒定的温度，另一个温度传感器用于感应介质温度。流经速度传感器的气体质量流量是通过传感元件的热传递量来计算的。气体流速增加，介质带走的热量增多，使传感器温度随之降低，为了保持温度的恒定，增加通过传感器的工作电流，增加的部分电流大小与介质的流速成正比。
气体质量流量计主要用于测量氢气、天然气、氮气、液化石油气、过氧化氢、烟道气、甲烷、丁烷、氯气、燃气、沼气、二氧化碳、氧气、高炉煤气、焦炉煤气、煤气、空气、氮气、乙炔、光气,、压缩空气、氩气、甲苯、苯、二甲苯、硫化氢、二氧化硫、氨气等各种气体。
