博思发科技公司PLF1000系列液体流量传感器，核心采用MEMS热式流量传感器芯片，用来取代传统 的机械涡轮传感器。PLF1000系列产品具有*的 灵敏度和响应速度，可以在脉动流量和低流量状况 下提供测量。由于没有可移动部件，PLF1000 不会卡住，也不会发生机械故障，清洁时无需拆 解。由于在流动路径中没有障碍物（涡轮），流动 阻力小，可以在重力驱动和低功率泵驱动的循环系 统中使用。 PLF1000采用博思发科技公司的第三代热式流量传 感器芯片，采用创新的微加工技术制造。传感器芯 片使用一对热电偶检测由质量流量引起的温度梯度 变化，具有优越的信噪比和可重复性。传感器芯片 上的“固态”绝热结构去除了传统产品中使用的表面空 腔或脆弱薄膜。传感器芯片表面有一层碳化硅保护 膜，可以直接接触液体，灵敏度高，封装成本低。 PLF1000符合NSF/ANSI 61标准，可在饮用水和饮料设 备中安全使用。
热式液体流量传感器工作原理
MEMS热式流量传感器芯片（即传感元件）由一个加热器和对称分布在加热器上游和下游的两组热电偶构成。加热器和热电偶的热节点位于硅基板的绝热基座上。绝热基座没有开放空腔或薄膜 ，因此传感器可以抵抗堵塞和压力冲击。
当加热器（由恒压源或恒流源驱动）加热绝热基座时，热电偶将产生毫伏输出（塞贝克效应）。如果通过传感器芯片的介质不流动，热电偶的差分输出电压为零。如果介质流动，上游热电偶 会被流动介质冷却，流动的介质经过加热器，把热量带给下游热电偶，热电偶输出的差分电压信号（下游减去上游）会随介质的质量流速变化。
应用
《咖啡和浓缩咖啡机
《饮水机
《净水器和水过滤系统
《饮料自动售货机
《洗涤剂自动售货机
《清洗化学混合系统
《液体冷却系统
特点
无移动部件
快速响应时间
可测量脉动流量
不阻碍流动(低压降)
维护时无需拆卸
*额定值
工作温度: 5至75 °C
存储温度: 5至80 °C
工作压力: 30 psi
公司介绍
博思发科技公司的前身是博思发微系统公司，发明了多孔硅制造技术，使用标准的CMOS工艺制造微机电系统（MEMS）器件，相比之下，传统的MEMS制造需要专门的设备和设施。未来，博思发微系统公司将保留其传统的热导传感器技术和相关产品，博思发科技公司将为流量传感器市场提供服务，并推动新的传感器技术创新，包括下一代热导传感器。
目前，博思发科技公司的产品包括气体和液体流量传感器、风速计和真空传感器。流量传感器可用于医疗呼吸机，制氧机，燃料电池和半导体设备中使用的质量流量控制器等要求苛刻的应用场合。博思发科技公司的微型皮拉尼真空传感器推动了下一代便携，具有互联网接入功能的真空计的开发。
产品链接:http://posifa.testmart.cn/
