SWAGELOK-隔膜阀-ALD3

产品名称：SWAGELOK-隔膜阀-ALD3

产品型号：ALD3

产品介绍：高纯度 ALD3 和 ALD6 阀旨在为半导体制造商提供可靠、高速的前体气体计量，用于在沉积室中逐层构建微芯片。高纯 ALD3 和 ALD6 阀门可设置为常闭和常开气动驱动，它们有多种配置可供选择，包括两端口直管和弯管设计；二通、三通和四通多通阀和多阀歧管；以及 1.125 英寸（限 ALD3 系列）和 1.5 英寸平台中的二端口和三端口模块化表面安装阀。可用的热致动器、位置传感器、螺线管和可选的用于容纳加热器筒的主体孔都可以根据用户的特定过程为用户提供额外的价值。

 

性能特点：

具有高速驱动的高循环寿命

流量系数范围从 0.27 到 0.62，可提供自定义流量系数

使用可选的热致动器可完全浸入高达 392°F (200°C) 的温度

适用于采用标准 316L VIM-VAR 不锈钢阀体的高纯度应用

模块化表面安装、管对接焊和世伟洛克 VCR端接

电子或光学致动器位置感应选项

ALD3 和 ALD6 隔膜由钴基高温合金材料组成，具有强度和耐腐蚀性；阀体由 316L VIM-VAR 不锈钢制成，适用于高纯应用；阀座由全氟化高纯度 PFA 组成，具有广泛的化学兼容性和抗溶胀性和抗污染性。

 

选型指南：

 

产品结构与细节：

 

可选配置：

 

产品尺寸：

 

 

产品应用：

 

参数：

 

上海连航机电科技有限公司是国内的进口机电产品与技术集成服务商。公司专注于为工业企业供应进口备品备件，提供过程控制技术询问，工业自动化集成设计与改造，成套设备与技术引进等工业技术应用及产品供应服务。为紧跟工业科技发展步伐，连航分别在德国和美国设立了公司和仓储中心，一举巩固了采购能力，扩大了由工厂直采加产品集散带来的二度成本优势，进而提升了终端服务效率与水平。客户广泛分布于各大地区与行业，主要有：汽车制造、机械设备制造、电力、石化、采矿、钢铁、有色金属、电气仪表制造、食品饮料、橡胶制品、医药生产、造纸、纺织、印刷、水泥、玻璃、环境设备、工业等。

 

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